[发明专利]晶棒治具及晶棒研磨方法

权利要求书

1.一种晶棒治具，其特征在于，包括底座，所述底座上设置有多个高度调节机构，每个所述高度调节机构的一端设置有安装部，所述安装部用于安装晶棒，所述高度调节机构用于调节所述安装部相对所述底座的高度，以使多个所述安装部上安装的晶棒的端面处于同一高度。

2.根据权利要求1所述的晶棒治具，其特征在于，所述高度调节机构为带有螺帽的调节螺栓，所述螺帽远离螺纹柱的一端具有用于粘结晶棒的平面，所述调节螺栓的螺帽形成所述安装部；

所述底座上设置有螺纹孔，所述调节螺栓的螺纹柱螺接在所述螺纹孔内。

3.根据权利要求1或2所述的晶棒治具，其特征在于，所述晶棒治具还包括砂轮修整块，所述砂轮修整块安装在所述底座上，且所述砂轮修整块能够相对所述底座进行高度调节。

4.根据权利要求3所述的晶棒治具，其特征在于，多个所述高度调节机构排列成两行；

所述砂轮修整块包括两块，每块所述砂轮修整块与所述高度调节机构的每行的方向平行设置，其中一块所述砂轮修整块设置在所述高度调节机构的其中一行的远离另一行的一侧，另一块所述砂轮修整块设置在所述高度调节机构的另一行的远离其中一行的一侧。

5.根据权利要求3所述的晶棒治具，其特征在于，所述底座上设置有安装槽，所述砂轮修整块安装在所述安装槽内，且所述砂轮修整块能够沿所述安装槽移动，以进行高度调节；

所述底座上的对应所述安装槽的位置上设置有限位件，所述限位件用于在所述砂轮修整块移动到位时，将所述砂轮修整块与所述底座相对固定。

6.根据权利要求5所述的晶棒治具，其特征在于，所述限位件为限位螺栓，且所述限位螺栓的螺杆部能够穿入所述安装槽内与所述砂轮修整块抵接。

7.根据权利要求1或2所述的晶棒治具，其特征在于，所述晶棒治具还包括定位板，所述定位板用于与所述安装部上安装的晶棒的端面抵接，以检测多个所述安装部上安装的晶棒的端面。

8.根据权利要求7所述的晶棒治具，其特征在于，所述晶棒治具还包括多根调高杆，所述多根调高杆安装在所述底座上，所述多根调高杆的顶端用于支撑所述定位板，并调节所述定位板的平面度。

9.根据权利要求8所述的晶棒治具，其特征在于，所述调高杆包括上套杆和下套杆，所述上套杆与所述下套杆通过螺纹部螺纹套接；

且所述螺纹部上设置有刻度。

10.一种晶棒研磨方法，基于权利要求1-9任一项所述的晶棒治具，其特征在于，所述晶棒研磨方法包括：

将多个晶棒分别采用粘结的形式固定在治具的高度调节机构的安装部上，且每个高度调节机构至多设置一个晶棒；

调整高度调节机构，使多个晶棒的端面位于同一高度；

使用端面研磨机对多个晶棒的端面进行研磨。