[发明专利]半导体设备

权利要求书

1.一种半导体设备，包括工艺腔室和尾气处理装置，其特征在于，所述半导体设备还包括排气管道和吹扫装置，其中，所述排气管道的两端分别与所述工艺腔室和所述尾气处理装置连接，用于将所述工艺腔室内的尾气排放至所述尾气处理装置中；

所述吹扫装置与所述排气管道的内部连通，用于向所述排气管道的内周壁通入吹扫气体，以在所述排气管道的内周壁上形成所述吹扫气体气流层；

所述排气管道上设置有贯通所述排气管道的管壁的进气孔，所述进气孔为多个，多个所述进气孔围绕所述排气管道的轴线呈螺旋状分布；

每个所述进气孔的位于所述排气管道的内周壁上的内端，相对于位于所述排气管道的外周壁上的外端在螺旋状的螺旋方向上更靠近所述排气管道与所述尾气处理装置连接处；所述吹扫装置通过所述进气孔与所述排气管道的内部连通，使吹扫气体能够在排气管道的内周壁上形成所述气流层。

2.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，每个所述进气孔的轴线与所述排气管道的径向截面之间具有第一夹角。

3.根据权利要求2所述的半导体设备，其特征在于，所述第一夹角的取值范围为20°-60°。

4.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，每个所述进气孔的轴线与所述排气管道的一条指定径向之间具有第二夹角；所述指定径向为与所述进气孔的位于所述排气管道的外周壁上的外端相交的径向直线。

5.根据权利要求4所述的半导体设备，其特征在于，所述第二夹角的取值范围为30°-60°。

6.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述吹扫装置包括外套管和进气组件，所述外套管套设在所述排气管道的周围，并与所述排气管道密封连接，且所述外套管与所述排气管道之间具有间隙；

所述进气组件用于向所述间隙中通入所述吹扫气体。

7.根据权利要求6所述的半导体设备，其特征在于，所述进气组件包括主进气管和多个支进气管，所述主进气管与多个所述支进气管连接，用于向多个所述支进气管中通入所述吹扫气体；

所述外套管上设置有多个进气通孔，多个所述进气通孔在所述排气管道的轴线方向上间隔分布，所述进气通孔的数量与所述支进气管的数量相同，所述支进气管一一对应的穿过所述进气通孔。

8.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述排气管道和所述吹扫装置的所有部件均采用耐腐蚀性材料制作。