[发明专利]一种新型刻写窄线宽短腔长光纤光栅标准具的方法在审
| 申请号： | 201910873891.4 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112526667A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王长峰 | 申请（专利权）人： | 上海科乃特激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/02 | 分类号： | G02B6/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200240 上海市闵行区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 刻写 窄线宽短腔长 光纤 光栅 标准 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型刻写窄线宽短腔长光纤光栅标准具的方法，其特征在于，使用包括紫外激光器，反射镜和相位掩膜板的光刻系统，包括以下步骤：
紫外激光器发出的紫外激光经由反射镜反射，打在相位掩模板上；
在均匀的相位掩模板前方贴近放置小铁丝或铜丝或其他不透明的小棍，这样刻写光栅时激光打在铁丝上会形成一个阴影，从而把相位掩模板的曝光区域平均分成两部分；
对放置在掩模板后面的光纤进行折射率均匀调制，保证其他没有铁丝或铜丝的曝光区域长度一致，从而在光纤上形成两个参数一致的光纤光栅，形成标准具。
2.如权利要求1所述的新型刻写窄线宽短腔长光纤光栅标准具的方法，其特征在于，所述小铁丝或铜丝或其他不透明的小棍直径为0.5-1mm。
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