[发明专利]真空室悬挂式自动平移门

说明书

本发明公开了一种真空室悬挂式自动平移门，包括真空室门板、位于所述真空室门板顶部的横梁、将所述真空室门板悬挂在所述横梁上并驱动所述真空室门板沿所述横梁做直线运动的行走小车、设置在所述真空室门板底部且在所述直线运动方向进行导向的支撑导向机构和锁紧机构。与现有技术相比，本发明采取的是电机驱动和电缸配合的方式，能够实现门体平移和预紧动作。解决了传统真空室铰链门占用空间大的问题，能够实现自动化操作。

技术领域

本发明涉及真空腔室门技术领域，特别是涉及一种真空室悬挂式自动平移门。

背景技术

真空腔室广泛应用于真空领域中，而真空室门则是影响真空室内真空度和漏率的重点部位。传统的真空腔室采用铰链结构，配合密封条密封，然而这种铰链门旋转时占空间较大，而且不易实现自动化控制，真空室开闭需要人工开闭，费时费力，而且存在一定的安全问题，因此有必要设计一种自动平移门结构，空间紧凑、运行稳定，能够实现远程自动化控制。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在的真空室门开关费时费力、不能实现自动化控制的问题，而提供一种真空室悬挂式自动平移门。

为实现本发明的目的所采用的技术方案是：

一种真空室悬挂式自动平移门，其特征在于，包括真空室门板、位于所述真空室门板顶部的横梁、将所述真空室门板悬挂在所述横梁上并驱动所述真空室门板沿所述横梁做直线运动的行走小车、设置在所述真空室门板底部且在所述直线运动方向进行导向的支撑导向机构、和锁紧机构，其中：所述真空室门板的顶部通过铰链组件固定在所述行走小车的底部,开门时所述真空室门板与所述真空室之间留有间隙，关门时所述锁紧机构驱动真空室门板向内贴合在真空室上形成密封。

在上述技术方案中，所述行走小车包括受电机驱动沿所述横梁上的轨槽移动的传动齿轮副和由所述齿轮副带动平移的组合板；所述真空室门板通过铰链组件连接在所述组合板上。

在上述技术方案中，所述组合板的剖面呈直角“U”字形，传动齿轮副包括电机驱动的主齿轮和所述主齿轮啮合连接的第一副齿轮，所述电机固定在所述组合板的一侧板上，所述主齿轮和第一副齿轮转动连接在该侧板上，所述传动齿轮副还包括第二副齿轮，所述第二副齿轮转动连接在所述组合板的另一侧板上。

在上述技术方案中，所述横梁为工字形钢导轨或倒置的T形钢导轨，所述横梁由立柱支撑。

在上述技术方案中，所述锁紧机构包括固定在真空室上的电缸、受电缸驱动的内外移动的拉杆、固定在所述拉杆端部的挡块以及固定在所述真空室门板上的导向过渡板，所述导向过渡板上形成有开槽，所述开槽供所述拉杆穿过且限制所述挡块穿过，所述开槽和所述拉杆在水平方向对齐。

在上述技术方案中，所述锁紧机构的个数至少为两个，更优选的所述锁紧机构对称设置在所述真空室门板的左右两侧。

在上述技术方案中，所述锁紧机构包括左锁紧机构和右锁紧机构，所述左锁紧机构的导向过渡板为平板结构，其开槽为左开口槽，所述右锁紧机构的导向过渡板为回折形板，其开槽形成在位于回折形板靠近真空室一侧的回折板上且为右开口槽。

在上述技术方案中，所述铰链组件设有两个，且两个对称设置，所述铰链组件包括连杆，所述连杆的一端通过第一轴与固定在所述组合板上的下固定端转动连接，所述连杆的另一端通过第二轴与固定在所述真空室门板上的上固定端转动连接。

在上述技术方案中，所述支撑导向机构包括固定在所述真空室门板底部的滑块和用于为所述滑块提供导向的导轨，所述导轨上设有朝向所述真空室的供所述滑块进入的内开槽。

在上述技术方案中，所述滑块包括定在所述真空室门板底部的导向柱和转动连接在所述导向柱底部的滚轮，所述滚轮在所述导轨内滚动。

在上述技术方案中，所述导轨的一端固定有用于防止所述滑块从端部脱出的限位组件，所述限位组件上朝向所述滑块的一侧设有缓冲件。