[发明专利]紫外线处理装置

说明书

本发明提供一种紫外线处理装置，在不导致冷却性能降低的情况下，实现冷却风扇的失效保护功能。紫外线处理装置具备：容器，其收纳处理对象物；紫外线灯，其对处理对象物照射紫外线；以及控制盘(20)，其收纳有控制对紫外线灯的电力供给的电路设备，在该紫外线处理装置中，为了冷却控制盘(20)内的电路设备，在形成于该控制盘的框体(21)上的一个排气口(22)上串联设置两个风扇(F1、F2)。在运转时，构成为，始终驱动第一风扇(F1)，由该第一风扇排出的空气流使非驱动状态的第二风扇(F2)空转地通过第二风扇。具备检测第一风扇(F1)的异常的异常检测器(25)，根据由异常检测器检测到第一风扇(F1)的异常而起动第二风扇(F2)。

技术领域

本发明涉及紫外线处理装置，特别涉及紫外线处理装置所具备的控制设备的冷却构造的改良。

背景技术

在半导体、FPD(平板显示器)的工厂中，在产品的制造工序中使用超纯水。在该超纯水的水质项目中有活菌数和TOC(总有机碳)浓度。使用紫外线杀菌装置作为用于使微生物灭活的设备，使用低压UV氧化装置作为用于降低TOC浓度的设备之一。这些装置在圆筒形的反应容器内填充有一根或多根发出254nm光或185nm光的紫外线的低压水银灯。该灯被一根一根地装入石英制的灯保护管内，以避免与容器内的被处理水直接接触。被处理水在该灯保护管的外侧和反应容器的内侧之间一边被曝露于紫外线一边被压送。处理水中的微生物被曝露在254nm光的紫外线中而被灭活。该灭活一般也表现为杀菌。另外，由曝露在185nm光的紫外线中的处理水生成OH自由基，OH自由基成为氧化剂，将TOC氧化分解。同时，通过来自低压水银灯的185nm光和254nm光，直接分解有机物。同样的反应只要是发出波长300nm以下的光源(紫外线灯)，就不限于低压水银灯，在中压水银灯、高压水银灯、准分子灯等中也会发生。作为灯保护管的材料，使用石英、蓝宝石、氟树脂等。下述专利文献1示出这样的紫外线处理装置的一例。

但是，紫外线处理装置附带有用于控制对灯的通电的控制盘，其中包含的稳定器的发热量大，因此必须设置由空冷用风扇构成的冷却装置。在该情况下，为了进行失效保护，希望采用双重风扇结构，使得即使在风扇发生故障时也能够确保冷却性能。但是，已知如果将两个风扇并联地设置在排气口上，则会产生不良情况。在并联设置在排气口上的两个风扇中的一个因故障而停止的情况下，通过运转着的风扇的吸引力，外部空气通过该故障的风扇从排气口向反方向进入，从吸气口吸入的空气量与之相应地减少，控制盘内的冷却性能会降低。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开WO2016/143829

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明是鉴于上述的点而完成的，其目的在于提供一种紫外线处理装置，该紫外线处理装置对双重风扇的配置进行了改进，以便能够在不导致冷却性能降低的情况下发挥失效保护功能。

用于解决问题的技术手段

本发明的紫外线处理装置具备：容器，其收纳处理对象物；紫外线灯，其对所述处理对象物照射紫外线；控制盘，其收纳有控制向所述紫外线灯的电力供给的电路设备；以及两个风扇，其为了冷却所述控制盘内的电路设备而串联设置在形成于该控制盘的框体上的排气口上。

由于在排气口上串联设置冷却用的两个风扇，因此即使在其中一台发生故障的情况下，该排气口的排气气流的流动也不会变化，不会发生外部空气从排气口向相反方向进入的现象。因此，能够尽可能地抑制控制盘内的冷却性能的降低。

在一实施例中，可以构成为，在运转时，始终驱动所述两个风扇中的第一风扇，由该第一风扇排出的空气流使非驱动状态的第二风扇空转地通过该第二风扇。另外，也可以具备检测所述第一风扇的异常的异常检测器，根据由所述异常检测器检测到所述第一风扇的异常而起动所述第二风扇。

附图说明