[发明专利]电渗微泵装置及电渗微泵装置组

说明书

本发明属于微流控技术领域，具体涉及一种电渗微泵装置及电渗微泵装置组。本发明所述的电渗微泵装置包括流体微通道和微针电极，所述流体微通道用于连通泵送流体的微流道进口和微流道出口，所述微针电极包括分别设于所述微流道进口和所述微流道出口的第一微针型电极和第二微针型电极，所述第一微针型电极和所述第二微针型电极相对设置，且所述第一微针型电极和所述第二微针型电极均不与所述流体微通道相导通。根据本发明的电渗微泵装置，能够为流体微通道的内部提供平行、均匀的电场，产生稳定电渗驱动力，同时能够解决电极表面的水解问题，极大提高微泵运行的稳定行和使用寿命。

技术领域

本发明属于微流控技术领域，具体涉及一种电渗微泵装置及电渗微泵装置组。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本公开相关的背景信息，其并不必然是现有技术。

电渗微泵是一种基于电渗流现象的微量液体驱动装置，在微全分析、数字微流控、芯片冷却和药物输运等领域应用广泛。微电极是决定电渗微泵驱动性能的关键部件，其制作材料及集成工艺对微泵整体结构的紧凑性和驱动性能具有重要影响。

传统电渗微泵多采用薄膜微电极来实现紧凑设计，提高集成度，这种薄膜微电极通过沉积或溅射工艺在微通道底部为流体提供电渗驱动电场。但这种微电极由于布置在微通道底部，无法产生平行于微通道的电场，使得电压有效利用率大大降低。近年来，多孔薄膜微电极被开发出来，平行贴附在多孔介质微通道薄膜两侧进口、出口表面，来提高电压有效利用率，但这种多孔薄膜微电极需要与多孔介质微通道薄膜进行精密对准，难度极大，由于两种薄膜孔径尺寸、密度的差别，微电极常常会覆盖多孔介质微通道薄膜的流体孔道，使其进出口处阻力增大、流量减小。

发明内容

本发明的目的是至少解决风轮在工作过程中发生抖动的问题。该目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的第一方面提出了一种电渗微泵装置，所述电渗微泵装置包括：

流体微通道，所述流体微通道用于连通泵送流体的微流道进口和微流道出口；

微针电极，所述微针电极包括分别设于所述微流道进口和所述微流道出口的第一微针型电极和第二微针型电极，所述第一微针型电极和所述第二微针型电极相对设置，且所述第一微针型电极和所述第二微针型电极均不与所述流体微通道相导通。

根据本发明的电渗微泵装置，在电渗微驱动过程中，通过向第一微针型电极和第二微针型电极同时通电，能够为流体微通道的内部提供平行、均匀的电场，产生稳定电渗驱动力，同时由于第一微针型电极和第二微针型电极均不与流体微通道相导通，能够解决电极表面的水解问题，消除传统薄膜微电极的产气、高产热、腐蚀等问题，极大提高微泵运行的稳定行和使用寿命。

另外，根据本发明的电渗微泵装置，还可具有如下附加的技术特征：

所述第一微针型电极和所述第二微针型电极分别包括多个并行设置的微针，多个所述微针分别与所述流体微通道相对设置。

在本发明的一些实施方式中，所述第一微针型电极和所述第二微针型电极分别包括多个并行设置的微针，多个所述微针分别设于所述流体微通道的两侧。

在本发明的一些实施方式中，所述微针电极还包括基板，所述多个微针并行设置于所述基板，所述基板与电源相连。

在本发明的一些实施方式中，多个所述微针的针尖分别与所述流体微通道的底面相平齐。

在本发明的一些实施方式中，所述微针呈圆锥形或多面三角锥形。

在本发明的一些实施方式中，所述微针电极的表面涂覆有防水材料。

本发明的另一方面还提出了一种电渗微泵装置组，所述电渗微泵装置组包括至少两个上述所述的电渗微泵装置。