[发明专利]一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法

说明书

本发明公开了一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法，包括输送台，所述输送台的两侧皆开设有滑动开口，所述滑动开口的内侧皆通过轴承活动安装有驱动杆，所述驱动杆的表面皆活动套接有连接筒，所述连接筒的顶部输送台上固定安装有分检载台，所述分检载台的顶部固定安装有定位板，且定位板的表面开设有定位槽，所述定位槽的内侧底端皆固定安装有电动推杆。该高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法可方便在检测过程中能够同时对四片工件进行检测，且能对四片产品单独检测，将生产节拍提高到2S/PCS使效率更高，同时可避免出现抛料的现象，不需要进行二次分检，降低了工作强度和检测成本。

技术领域

本发明涉及检测技术领域，具体为一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法。

背景技术

氦质谱检漏(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪，氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体，将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

但是目前市场上氦质谱检漏产线，为了追求高速度，会同时检测2-4片，如有单片NG，在检测的同时会出现抛料现象，因此有时还需要进行二次分检，增加了工作量和检测成本，降低了检测的整体效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法，以解决上述背景技术中提出的目前市场上氦质谱检漏产线，为了追求高速度，会同时检测2-4片，如有单片NG，在检测的同时会出现抛料现象，因此有时还需要进行二次分检，增加了工作量和检测成本，降低了检测的整体效率的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法，包括高速氦质谱检漏分检系统，该高速氦质谱检漏分检系统包括输送台，所述输送台的两侧皆开设有滑动开口，所述滑动开口的内侧皆通过轴承活动安装有驱动杆，所述驱动杆的表面皆活动套接有连接筒，所述连接筒的顶部输送台上固定安装有分检载台，所述分检载台的顶部固定安装有定位板，且定位板的表面开设有定位槽，所述定位槽的内侧底端皆固定安装有电动推杆，且电动推杆的顶部皆固定安装有升降板，且升降板的面积略小于定位槽的面积。

所述输送台的两侧皆固定安装有导向柱，所述导向柱的表面活动套接有支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有分检上模，且分检上模的一侧固定安装有初级真空阀，所述支撑板的底部固定安装有检测腔体，所述输送台的一侧固定安装有输送管，且输送管的外端通过连接板固定安装有氦检仪。

优选的，所述输送管的外端固定安装有连接端口，且连接端口上固定安装有控制阀。

优选的，所述定位板的数量为四个，且输送台的两端皆固定安装有两根限位杆。

优选的，所述输送管上固定安装有加强板，且加强板的一侧输送管上固定安装有密封法兰。

优选的，所述加强板的一侧输送管与输送台连接处固定安装有精检阀。

优选的，所述输送管的数量至少为四个，且每个输送管的出口端之间的间距与相应的定位板之间的间距相等。

优选的，所述电动推杆的一侧定位槽内侧固定安装有蓄电池，且蓄电池的输出端通过导线与电动推杆的输入端电性连接。

一种高速氦质谱检漏分检系统及其分检方法，包括高速氦质谱检漏分检方法，其分检方法包括以下步骤：

S1、首先可将需要检测的工件进行放置到相应的不同分检载台21上的定位板内侧开设的定位槽内部，对工件进行卡合固定，避免工件输送检测过程中发生位置偏移，影响检测整体精确性。