[发明专利]用于确定边缘环特性的系统和方法

权利要求书

1.一种衬底处理系统中的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括：

内部部分；

围绕所述内部部分的边缘环；以及

控制器，其被配置成：

选择性地升高所述边缘环，

接收指示布置在所述内部部分上的测试衬底的定位的测量信号，所述测试衬底包括从所述测试衬底的边缘向外延伸的至少一个接触指，其中所述至少一个接触指被设置成接合所述边缘环，

基于指示所述测试衬底的所述定位的所述测量信号确定所述边缘环何时接合所述测试衬底的所述至少一个接触指，以及

基于对所述边缘环何时接合所述测试衬底的所述至少一个接触指的所述确定来计算所述边缘环的至少一个特性。

2.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中，为了确定所述边缘环何时接合所述至少一个接触指，所述控制器还被配置为确定使所述边缘环接合所述至少一个接触指的所述边缘环被升高的量。

3.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述至少一个特性是所述边缘环的尺寸。

4.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述至少一个接触指被布置成接合所述边缘环的内径。

5.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中，为了确定所述边缘环何时接合所述至少一个接触指，所述控制器被配置成使用所述测量信号监测从所述测试衬底的表面反射的信号。

6.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中，为了计算所述边缘环的所述至少一个特性，所述控制器被配置为确定使所述边缘环接合所述至少一个接触指的所述边缘环被升高的量。

7.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其还包括：

多个销，其定位成支撑所述边缘环；以及

多个致动器，其响应于所述控制器并被布置成选择性地升高和降低所述多个销中的相应销。

8.一种衬底处理系统，其包括根据权利要求1所述的衬底支撑件并且还包括测量装置，其被配置成产生基于所述测试衬底的所述定位的所述测量信号。

9.一种确定衬底处理系统中的衬底支撑件的边缘环的特性的方法，所述方法包括：

将测试衬底布置在所述衬底支撑件的内部部分上，其中所述测试衬底包括从所述测试衬底的边缘向外延伸的至少一个接触指；

升高所述边缘环；

接收指示布置在所述衬底支撑件的所述内部部分上的所述测试衬底的定位的测量信号；

基于指示所述测试衬底的所述定位的所述测量信号确定所述边缘环何时接合所述测试衬底的所述至少一个接触指；以及

基于对所述边缘环何时接合所述测试衬底的所述至少一个接触指的确定来计算所述边缘环的至少一个特性。

10.根据权利要求9所述的方法，其中确定所述边缘环何时接合所述至少一个接触指包括确定所述边缘环的内径何时接合所述至少一个接触指以及确定使所述边缘环的所述内径接合所述至少一个接触指的所述边缘环被升高的量。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述至少一个特性是所述边缘环的尺寸。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述至少一个接触指被布置成接合所述边缘环的内径。

13.根据权利要求9所述的方法，其中确定所述边缘环何时接合所述测试衬底的所述至少一个接触指包括使用所述测量信号监测从所述测试衬底的表面反射的信号。

14.根据权利要求9所述的方法，其中计算所述边缘环的所述至少一个特性包括确定使所述边缘环接合所述至少一个接触指的所述边缘环被升高的量。

15.根据权利要求9所述的方法，其中升高所述边缘环包括使用被定位成支撑所述边缘环的多个销以及被布置成选择性地升高和降低所述多个销中的相应销的多个致动器来升高所述边缘环。