[发明专利]坩埚盖及坩埚在审

专利信息
申请号: 201910849940.0 申请日: 2019-09-09
公开(公告)号: CN110453285A 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 陈泽斌;张洁;廖弘基;陈华荣 申请(专利权)人: 福建北电新材料科技有限公司
主分类号: C30B29/36 分类号: C30B29/36;C30B23/00
代理公司: 11646 北京超成律师事务所 代理人: 陈治位<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 362200福建省泉州市*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 籽晶 盖板本体 坩埚盖 废弃 晶体材料加工 可拆卸连接 可拆卸设置 石墨坩埚盖 可更换 粘结 坩埚 生产成本 节约
【权利要求书】:

1.一种坩埚盖,其特征在于,包括盖板本体以及可更换的籽晶安装部,所述籽晶安装部与所述盖板本体可拆卸连接,所述籽晶安装部用于安装籽晶。

2.根据权利要求1所述的坩埚盖,其特征在于,所述籽晶安装部相对所述盖板本体向下凸出设置。

3.根据权利要求1所述的坩埚盖,其特征在于,所述盖板本体设置为金属盖板,且所述金属盖板上设置有碳化层,所述碳化层至少覆盖所述金属盖板的下表面。

4.根据权利要求3所述的坩埚盖,其特征在于,所述金属盖板的材质为钽,所述碳化层为碳化钽层;或,

所述金属盖板的材质为铌,所述碳化层为碳化铌层;或,

所述金属盖板的材质为钨,所述碳化层为碳化钨层。

5.根据权利要求3所述的坩埚盖,其特征在于,所述碳化层为在所述金属盖板的表面通过碳化而形成。

6.根据权利要求1所述的坩埚盖,其特征在于,所述盖板本体的材质为碳化钽、碳化铌或碳化钨。

7.根据权利要求1-6任一项所述的坩埚盖,其特征在于,所述盖板本体的中部设置有贯通的安装孔,所述籽晶安装部安装在所述安装孔内,且所述籽晶安装部能够与所述安装孔的孔壁密封连接。

8.根据权利要求7所述的坩埚盖,其特征在于,所述盖板本体的中部向下凸出有环壁,所述籽晶安装部套设在所述环壁内,所述籽晶安装部与所述环壁粘结,且所述籽晶安装部的下表面凸出所述环壁。

9.根据权利要求8所述的坩埚盖,其特征在于,所述环壁的下端面向所述安装孔向内延伸设置有卡台;

所述籽晶安装部的上端向外延伸有卡凸,所述卡凸卡设在所述卡台上。

10.一种坩埚,其特征在于,包括坩埚本体以及权利要求1-9任一项所述的坩埚盖,所述盖板本体能够盖设在所述坩埚本体上。

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