[发明专利]坩埚盖及坩埚在审
申请号: | 201910849940.0 | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN110453285A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 陈泽斌;张洁;廖弘基;陈华荣 | 申请(专利权)人: | 福建北电新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B23/00 |
代理公司: | 11646 北京超成律师事务所 | 代理人: | 陈治位<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 362200福建省泉州市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 籽晶 盖板本体 坩埚盖 废弃 晶体材料加工 可拆卸连接 可拆卸设置 石墨坩埚盖 可更换 粘结 坩埚 生产成本 节约 | ||
1.一种坩埚盖,其特征在于,包括盖板本体以及可更换的籽晶安装部,所述籽晶安装部与所述盖板本体可拆卸连接,所述籽晶安装部用于安装籽晶。
2.根据权利要求1所述的坩埚盖,其特征在于,所述籽晶安装部相对所述盖板本体向下凸出设置。
3.根据权利要求1所述的坩埚盖,其特征在于,所述盖板本体设置为金属盖板,且所述金属盖板上设置有碳化层,所述碳化层至少覆盖所述金属盖板的下表面。
4.根据权利要求3所述的坩埚盖,其特征在于,所述金属盖板的材质为钽,所述碳化层为碳化钽层;或,
所述金属盖板的材质为铌,所述碳化层为碳化铌层;或,
所述金属盖板的材质为钨,所述碳化层为碳化钨层。
5.根据权利要求3所述的坩埚盖,其特征在于,所述碳化层为在所述金属盖板的表面通过碳化而形成。
6.根据权利要求1所述的坩埚盖,其特征在于,所述盖板本体的材质为碳化钽、碳化铌或碳化钨。
7.根据权利要求1-6任一项所述的坩埚盖,其特征在于,所述盖板本体的中部设置有贯通的安装孔,所述籽晶安装部安装在所述安装孔内,且所述籽晶安装部能够与所述安装孔的孔壁密封连接。
8.根据权利要求7所述的坩埚盖,其特征在于,所述盖板本体的中部向下凸出有环壁,所述籽晶安装部套设在所述环壁内,所述籽晶安装部与所述环壁粘结,且所述籽晶安装部的下表面凸出所述环壁。
9.根据权利要求8所述的坩埚盖,其特征在于,所述环壁的下端面向所述安装孔向内延伸设置有卡台;
所述籽晶安装部的上端向外延伸有卡凸,所述卡凸卡设在所述卡台上。
10.一种坩埚,其特征在于,包括坩埚本体以及权利要求1-9任一项所述的坩埚盖,所述盖板本体能够盖设在所述坩埚本体上。
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