[发明专利]一种匹配箱的阻抗调节方法、装置及射频电源系统

权利要求书

1.一种匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，包括：

建立所述匹配箱的简化模型；其中，所述简化模型包括第一电感、串联连接构成第一支路的第二电感和第一电容、串联连接构成第二支路的第三电感和及第二电容，所述第一电感的一端分别与所述第一支路的一端及所述第二支路的一端连接，所述第一电感的另一端及所述第一支路的另一端与射频电源连接，所述第二支路的另一端与所述第一支路的另一端与负载连接；

获取多组所述简化模型的测量参数，所述测量参数包括第一电容的电容值、第二电容的电容值及此时所述简化模型的输入阻抗和负载阻抗；

根据多组所述测量参数、所述简化模型与所述输入阻抗及所述负载阻抗的关系得到所述第一电感的电感值、第二电感的电感值及第三电感的电感值；

获取当前负载阻抗，根据所述当前负载阻抗和预设输入阻抗确定所述第一电容和所述第二电容的电容值关系，并对所述第一电容和/或所述第二电容的极板距离进行调整，以使所述第一电容和所述第二电容满足所述电容值关系。

2.如权利要求1所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述获取多组所述简化模型的测量参数之前，还包括：

建立所述第一电容的电容值与所述第一电容的极板的距离之间的对应关系；

建立所述第二电容的电容值与所述第二电容的极板的距离之间的对应关系。

3.如权利要求2所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述建立所述第一电容的电容值与所述第一电容的极板的距离之间的对应关系；建立所述第二电容的电容值与所述第二电容的极板的距离之间的对应关系之前，还包括：

将所述第一电容的极板的距离进行归一化；

将所述第二电容的极板的距离进行归一化。

4.如权利要求1所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述简化模型与所述输入阻抗及所述负载阻抗的关系，包括：

其中，ω为角频率，为第一电感的阻抗，为第二电感的阻抗，为第三电感的阻抗，为第一电容的阻抗，为第二电容的阻抗，Z_in为输入阻抗，Z_load为负载阻抗，L₁为第一电感的电感值，L₂为第二电感的电感值，L₃为第三电感的电感值，C₁为第一电容的电容值，C₂为第二电容的电容值。

5.如权利要求4所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述根据多组所述测量参数、所述简化模型与所述输入阻抗及所述负载阻抗的关系得到所述第一电感的电感值、第二电感的电感值及第三电感的电感值之后，还包括：

若无法得到所述第一电感的电感值、第二电感的电感值及第三电感的电感值，则重新获取多组所述简化模型的测量参数，并返回上一步骤，直至得到所述第一电感的电感值、第二电感的电感值及第三电感的电感值。

6.如权利要求1至5任一项所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述获取当前负载阻抗，根据所述当前负载阻抗和预设输入阻抗确定所述第一电容和所述第二电容的电容值关系，并对所述第一电容和/或所述第二电容的极板距离进行调整，以使所述第一电容和所述第二电容满足所述电容值关系之后，还包括：

判断所述简化模型的精度是否符合低损耗要求；

若是，则确定此时的第一电容和第二电容的电容值符合低损耗要求；

否则，重新调整所述第一电容的电容值和/或第二电容的电容值，并返回判断所述简化模型的精度是否符合低损耗要求的步骤。

7.如权利要求6所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述判断所述简化模型的精度是否符合低损耗要求，包括：

判断所述简化模型的输入阻抗的驻波比是否小于预设值。

8.如权利要求7所述的匹配箱的阻抗调节方法，其特征在于，所述预设值为1.06。