[发明专利]激光烧蚀装置和制造显示设备的方法

说明书

本发明公开一种激光烧蚀装置和制造显示设备的方法。该激光烧蚀装置包括：激光光束发生器，包括用于产生激光光束的光束源，激光光束发生器使用固态激光器；输出光束发生器，用于使用激光光束产生输出光束；以及基板台架，包括其上布置有载体基板的至少一个台架，面板基板形成在载体基板上。输出光束发生器可以包括：混合器，用于通过将激光光束混合而产生具有彼此正交的两个线性偏振的混合激光光束；以及光成型机，用于使用混合激光光束产生输出光束。

相关申请的交叉引用

本申请要求2018年9月11日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2018-0108470号的优先权，其全部公开通过引用合并于此。

技术领域

本公开总体上涉及使用固态激光器的激光烧蚀装置和制造显示设备的方法。

背景技术

有机发光显示设备可以被实现为使用具有优异柔性的塑料基板的柔性显示器。

然而，由于柔性基板具有高柔性，因此在显示设备的制造工艺期间，柔性基板应被支撑。因此，在柔性基板形成在由诸如玻璃的材料形成的载体基板上之后，平板显示设备的制造工艺被执行，并且载体基板然后被移除。

可以使用各种方法移除载体基板，并且已经积极开展了使用激光的激光剥离方法的研究。

发明内容

实施例提供了一种使用固态激光器的激光烧蚀装置以及制造显示设备的方法。

根据本公开的一个方面，提供了一种激光烧蚀装置，包括：激光光束发生器，包括用于产生激光光束的光束源，激光光束发生器使用固态激光器；输出光束发生器，被配置为使用激光光束产生输出光束；以及基板台架，包括其中布置有载体基板的至少一个台架，面板基板形成在载体基板上，其中输出光束发生器包括：混合器，被配置为通过将激光光束混合而产生具有彼此正交的两个线性偏振的混合激光光束；和光成型机，被配置为使用混合激光光束产生输出光束。

基板台架可以包括多个台架。

基板台架可以进一步包括被配置为沿第一移动导件将多个台架移动到激光入射区域的移动单元。多个台架可以在输出光束入射的同时在激光入射区域中沿第二移动导件移动。第一移动导件可以沿第一方向延伸，并且第二移动导件可以沿与第一方向不同的第二方向延伸。

激光烧蚀装置可以进一步包括被配置为从外部密封至少一个台架的腔室。

光成型机可以包括被配置为使混合激光光束均匀的均化器。

输出光束可以被配置为入射到载体基板的背面上。

面板基板可以包括聚酰胺或聚酰亚胺。

光束源可以包括含有镱:钇铝石榴石(Yb:YAG)成分的激光器。

激光光束的波长可以属于270nm至410nm的范围。

激光光束发生器可以包括偶数个光束源。

激光光束发生器可以包括四个光束源。

根据本公开的一个方面，提供了一种制造显示设备的方法，该方法包括：在载体基板的正面上形成面板基板；在面板基板的正面上形成显示元件层、薄膜封装层和上保护层；以载体基板被翻转的状态将载体基板布置在台架上；由输出光束发生器将输出光束照射到载体基板的背面上；以及从载体基板烧蚀面板基板，其中照射输出光束包括：由激光光束发生器使用固态激光器产生激光光束；并且由输出光束发生器使用激光光束产生输出光束。

输出光束发生器可以包括：混合器，被配置为通过将激光光束混合而产生具有彼此正交的两个线性偏振的混合激光光束；以及光成型机，被配置为使用混合激光光束产生输出光束。

该方法可以进一步包括：由腔室从外部密封台架。