[发明专利]盖子及压电装置

说明书

本发明提供一种金属制的盖子以及压电装置，可充分地进行密闭密封。本实施方式的金属制的盖子是通过共晶合金而与设置压电元件的底板接合的金属制的盖子。而且，盖子包括：第一面，具有：包含四边的矩形形状的外侧顶面、从外侧顶面的四边弯折的外侧壁面、及形成在比外侧壁面更外侧的凸缘外周端面；第二面，具有：与外侧顶面平行的内侧顶面、及与外侧壁面平行的内侧壁面，且第二面为配置压电元件的一侧；以及第三面，将凸缘外周端面与内侧壁面连接，第三面通过共晶合金而与底板接合。而且，第三面包含：从所述第三面的一侧的端至凸缘外周端面为止的第一曲率的第一曲面，以及从第三面的另一侧的端至内侧壁面为止的第二曲率的第二曲面。

技术领域

本发明涉及一种对压电元件进行密封的金属制的盖子。另外，本发明涉及一种具有所述盖子的压电装置。

背景技术

使用晶体等压电材料的压电滤波器、压电振动器、压电振动片、压电振荡器、加速度传感器等压电装置，在范围极广的领域中得到利用。例如，在专利文献1中公开有此种压电装置的一种。所述压电装置包含：板状的底板与金属盖。而且，在底板的四周，具有由金属膜形成的接合金属膜。另外，金属盖是四周朝下方弯折的穹顶型的形状，在四周形成有凸缘面。而且，接合金属膜与凸缘面经密封。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2000-134055号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，在压电装置的密封的强度不足且已承受外压等的情况下，有时在压电装置内与外部空气之间发生泄漏。若使接合金属膜及凸缘面变大，则底板与金属制的盖子的接合强度提升，但会导致压电装置的尺寸的大型化。因此，提供一种可充分地进行密闭密封的金属制的盖子。

[解决问题的技术手段]

本实施方式的金属制的盖子是通过共晶合金而与设置压电元件的底板接合的金属制的盖子。而且，盖子包括：第一面，具有：包含四边的矩形形状的外侧顶面、从外侧顶面的四边弯折的外侧壁面、及形成在比外侧壁面更外侧的凸缘外周端面；第二面，具有：与外侧顶面平行的内侧顶面、及与外侧壁面平行的内侧壁面，且第二面为与底板相向的一侧；以及第三面，将凸缘外周端面与内侧壁面连接，通过共晶合金而与底板接合。而且，第三面包含：从所述第三面的一侧的端至凸缘外周端面为止的第一曲率的第一曲面，以及从第三面的另一侧的端至内侧壁面为止的第二曲率的第二曲面。

盖子的第三面也可以在第一曲面与第二曲面之间包含：相对于底板平行的凸缘平面。另外，优选的是，第二曲面的第二曲率半径为15μm～35μm。另外，优选的是，第一曲面的第一曲率半径为5μm～20μm。

[发明的效果]

本发明的实施方式的金属制的盖子不导致大型化，可相对于底板提升接合强度。

附图说明

图1是压电装置100的分解立体图。

图2A是金属制的盖子的剖面图与其部分放大图。

图2B是金属制的盖子的部分放大图，且为图2A的变形例。

图3是压电装置的剖面图。

图4A与图4B是接合金属膜及凸缘面的放大剖面图。

[符号的说明]

100：压电装置

110：金属制的盖子

111：凹部

112：壁板

112i：内侧壁面

112o：外侧壁面