[发明专利]多画幅分幅成像方法、装置和设备

权利要求书

1.一种多画幅分幅成像方法，其特征在于，所述多画幅分幅成像方法包括：

通过单孔将对应的目标光照射至光电阴极以生成对应的光电子图像；

通过抽样分离器对所述光电子图像进行抽样以得到与所述光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束，其中，所述抽样分离器采用取样狭缝阵列器件；

将各个所述抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束；

将各个所述聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理，生成各自对应的通道电子束，其中，所述电子束分离器包括准直狭缝阵列器件和多通道偏转分离器；

将各个所述通道电子束分别通过扫描电场进行扫描处理，以使经过所述扫描处理后得到的各个对应的目标电子束到达荧光屏并生成对应的条纹图像；

根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建，以得到对应的原始目标图像。

2.根据权利要求1所述的多画幅分幅成像方法，其特征在于，所述“将各个所述聚焦电子束分别通过电子束分离器进行偏转分离处理，生成各自对应的通道电子束”的步骤包括：

将各个所述聚焦电子束分别通过所述准直狭缝阵列器件中各个准直狭缝以在傅里叶像面上对各个所述聚焦电子束进行过滤准直处理，生成各自对应的准直电子束；

将各个所述准直电子束分别通过所述多通道偏转分离器进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。

3.根据权利要求1所述的多画幅分幅成像方法，其特征在于，所述将各个所述抽样电子束分别通过电子光学系统进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束的步骤之前还包括：

将各个所述抽样电子束分别通过加速单元进行加速处理。

4.根据权利要求2所述的多画幅分幅成像方法，其特征在于，所述多通道偏转分离器设置有多对直流电极板，每对直流电极板的中心轴线均与对应的准直狭缝中心轴线相同以形成对应的偏转分离通道，所述“将各个所述准直电子束分别通过所述多通道偏转分离器进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束的步骤包括：

将各个所述准直电子束分别通过各自对应的所述偏转分离通道进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距并生成各自对应的通道电子束。

5.一种多画幅分幅成像装置，其特征在于，所述多画幅分幅成像设装置包括处理器以及在空间位置上依次排列且均处于同一轴线上的光电阴极、抽样分离器、电子光学系统、电子束分离器、扫描电场装置和荧光屏；

所述光电阴极用于通过单孔接收对应的目标光照射以生成对应的光电子图像；

所述抽样分离器用于对所述光电子图像进行抽样以得到与所述光电子图像中不同位置所对应的抽样电子束，其中，所述抽样分离器采用取样狭缝阵列器件；

所述电子光学系统用于将各个所述抽样电子束分别进行聚焦处理以得到各自对应的聚焦电子束；

所述电子束分离器用于将各个所述聚焦电子束分别进行偏转分离处理，以生成各自对应的通道电子束，其中，所述电子束分离器包括准直狭缝阵列器件和多通道偏转分离器；

所述扫描电场装置用于将各个所述通道电子束分别进行扫描处理，得到对应的目标电子束并发送至所述荧光屏；

所述荧光屏用于生成对应的条纹图像；

所述处理器用于根据各个条纹图像中同一时刻所对应的图像进行图像构建并得到对应的原始目标图像。

6.根据权利要求5所述的多画幅分幅成像装置，其特征在于，

所述准直狭缝阵列器件用于将各个所述聚焦电子束分别在傅里叶像面上对各个所述聚焦电子束进行过滤准直处理，生成各自对应的准直电子束；

所述多通道偏转分离器用于将各个所述准直电子束分别进行偏转分离以增大各个相邻准直电子束之间的间距，生成各自对应的通道电子束。

7.根据权利要求5所述的多画幅分幅成像装置，其特征在于，所述多画幅分幅成像装置还设置有加速单元，所述加速单元设置在所述光电阴极和所述抽样分离器之间；

所述加速单元用于将各个所述抽样电子束分别进行加速处理。