[发明专利]一种MEMS电容式陀螺仪敏感结构品质因数Q值的获取方法

权利要求书

1.一种MEMS电容式陀螺仪敏感结构品质因数Q值的获取方法，包括用一个采样频率采样获取陀螺仪输出信号，计算输出信号衰减时间常数，将衰减时间常数乘以MEMS电容式陀螺仪固有谐振频率再乘以π取绝对值得到品质因数Q值，其中：所述输出信号是MEMS电容式陀螺仪固有谐振频率测试信号的输出信号，所述测试信号是按照一个设定时间长度向MEMS电容式陀螺仪施加的振动信号，其特征在于，设定一个采样时间阈值长度，采样时间阈值长度大于设定时间长度，所述计算输出信号衰减时间常数的过程是：

第一步：以所述设定时间长度结束为起点对顺序获得的采样点信号幅值进行判断获得衰减过程连续有效点，直至达到采样时间阈值长度后结束、获得有效点的集合，有效点判断过程是：后一采样点信号幅值与前一采样点信号幅值比较，如果后一采样点信号幅值小于前一采样点信号幅值，则后一采样点为有效点，否则为无效点；

第二步：建立时间常数计算坐标，将采样点信号幅值数组作为纵坐标赋值衰减过程连续有效点集合，将采样时间间隔数组作为横坐标，做有效点集合线性回归，用最小二乘逼近来拟合形成衰减模拟直线C，并由此计算出直线C的下降斜率即为时间常数。

2.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述采样频率选用100KHz至1MHz。

3.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述方法进一步包括：设定采样点信号幅值辅助结束判断阈值，当采样时间未达到采样时间阈值长度，而获取的采样点信号幅值等于采样点信号幅值辅助结束判断阈值时，结束采样。

4.根据权利要求3所述的获取方法，其特征在于，所述采样点信号幅值辅助结束判断阈值是所述起点获取的采样点信号幅值的5%，当采样时间未达到采样时间阈值长度，而获取的采样点信号幅值等于起点获取的采样点信号幅值的5%时，结束采样。

5.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述有效点判断过程是在采样过程中实时进行的。