[发明专利]光电晶体管及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201910817838.2 申请日: 2019-08-30
公开(公告)号: CN111883598A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 柯秋坛 申请(专利权)人: 广东聚华印刷显示技术有限公司
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/0232;H01L31/101;H01L31/18;H01L51/44
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 杜寒宇
地址: 510000 广东省广州市广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 光电晶体管 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种光电晶体管,其特征在于,包括基板、栅极层、栅极绝缘层以及有源层;所述栅极层设置在所述基板上,所述栅极绝缘层设置在所述栅极层远离所述基板的一侧,所述栅极绝缘层含有绝缘材料和光致变色材料,所述有源层设置在所述栅极绝缘层远离所述栅极层的一侧。

2.如权利要求1所述的光电晶体管,其特征在于,所述栅极绝缘层包括以所述绝缘材料为基体、并掺杂有所述光致变色材料的混合材料层。

3.如权利要求2所述的光电晶体管,其特征在于,在所述混合材料层中,所述绝缘材料和所述光致变色材料的质量之比为1:1~19:1。

4.如权利要求1所述的光电晶体管,其特征在于,所述栅极绝缘层包括绝缘材料层和光致变色材料层,所述光致变色材料层设置在所述有源层与所述绝缘材料层之间。

5.如权利要求1所述的光电晶体管,其特征在于,所述栅极绝缘层包括绝缘材料层和光致变色材料层,所述光致变色材料层设置在所述绝缘材料层与所述栅极层之间。

6.如权利要求4或5所述的光电晶体管,其特征在于,所述光致变色材料层的厚度为10nm~50nm。

7.如权利要求1~5任一项所述的光电晶体管,其特征在于,还包括网状源极和漏极,所述网状源极设置在所述有源层和所述栅极绝缘层之间,所述漏极设置在所述有源层的远离所述栅极绝缘层的一侧。

8.如权利要求1~5任一项所述的光电晶体管,其特征在于,所述光致变色材料选自螺吡喃类化合物、螺恶嗪类化合物、偶氮化合物、二芳基乙烯类化合物和多环醌类化合物中的一种或多种。

9.如权利要求1~5任一项所述的光电晶体管,其特征在于,所述绝缘材料选自有机聚合物材料、无机氧化物材料和铁电材料中的一种或多种。

10.一种光电晶体管的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供或制备表面设有栅极层的基板;

在所述栅极层远离所述基板的一侧制作栅极绝缘层,所述栅极绝缘层含有绝缘材料和光致变色材料;

在所述栅极绝缘层远离所述栅极层的一侧制作有源层。

11.如权利要求10所述的制作方法,其特征在于,在所述栅极层远离所述基板的一侧制作栅极绝缘层包括:

将所述绝缘材料和所述光致变色材料一同溶解于溶剂中形成混合液;

将所述混合液涂布于所述栅极层上,干燥形成混合材料层。

12.如权利要求10所述的制作方法,其特征在于,所述在所述栅极层远离所述基板的一侧制作栅极绝缘层包括:

在所述栅极层上采用绝缘材料制作绝缘材料层;

在所述绝缘材料层上采用光致变色材料制作光致变色材料层。

13.如权利要求10所述的制作方法,其特征在于,所述在所述栅极层远离所述基板的一侧制作栅极绝缘层包括:

在所述栅极层上采用光致变色材料制作光致变色材料层;

在光致变色材料层上采用绝缘材料制作绝缘材料层。

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