[发明专利]光电晶体管及其制作方法在审
申请号: | 201910817838.2 | 申请日: | 2019-08-30 |
公开(公告)号: | CN111883598A | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 柯秋坛 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0232;H01L31/101;H01L31/18;H01L51/44 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 杜寒宇 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电晶体管 及其 制作方法 | ||
1.一种光电晶体管,其特征在于,包括基板、栅极层、栅极绝缘层以及有源层;所述栅极层设置在所述基板上,所述栅极绝缘层设置在所述栅极层远离所述基板的一侧,所述栅极绝缘层含有绝缘材料和光致变色材料,所述有源层设置在所述栅极绝缘层远离所述栅极层的一侧。
2.如权利要求1所述的光电晶体管,其特征在于,所述栅极绝缘层包括以所述绝缘材料为基体、并掺杂有所述光致变色材料的混合材料层。
3.如权利要求2所述的光电晶体管,其特征在于,在所述混合材料层中,所述绝缘材料和所述光致变色材料的质量之比为1:1~19:1。
4.如权利要求1所述的光电晶体管,其特征在于,所述栅极绝缘层包括绝缘材料层和光致变色材料层,所述光致变色材料层设置在所述有源层与所述绝缘材料层之间。
5.如权利要求1所述的光电晶体管,其特征在于,所述栅极绝缘层包括绝缘材料层和光致变色材料层,所述光致变色材料层设置在所述绝缘材料层与所述栅极层之间。
6.如权利要求4或5所述的光电晶体管,其特征在于,所述光致变色材料层的厚度为10nm~50nm。
7.如权利要求1~5任一项所述的光电晶体管,其特征在于,还包括网状源极和漏极,所述网状源极设置在所述有源层和所述栅极绝缘层之间,所述漏极设置在所述有源层的远离所述栅极绝缘层的一侧。
8.如权利要求1~5任一项所述的光电晶体管,其特征在于,所述光致变色材料选自螺吡喃类化合物、螺恶嗪类化合物、偶氮化合物、二芳基乙烯类化合物和多环醌类化合物中的一种或多种。
9.如权利要求1~5任一项所述的光电晶体管,其特征在于,所述绝缘材料选自有机聚合物材料、无机氧化物材料和铁电材料中的一种或多种。
10.一种光电晶体管的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供或制备表面设有栅极层的基板;
在所述栅极层远离所述基板的一侧制作栅极绝缘层,所述栅极绝缘层含有绝缘材料和光致变色材料;
在所述栅极绝缘层远离所述栅极层的一侧制作有源层。
11.如权利要求10所述的制作方法,其特征在于,在所述栅极层远离所述基板的一侧制作栅极绝缘层包括:
将所述绝缘材料和所述光致变色材料一同溶解于溶剂中形成混合液;
将所述混合液涂布于所述栅极层上,干燥形成混合材料层。
12.如权利要求10所述的制作方法,其特征在于,所述在所述栅极层远离所述基板的一侧制作栅极绝缘层包括:
在所述栅极层上采用绝缘材料制作绝缘材料层;
在所述绝缘材料层上采用光致变色材料制作光致变色材料层。
13.如权利要求10所述的制作方法,其特征在于,所述在所述栅极层远离所述基板的一侧制作栅极绝缘层包括:
在所述栅极层上采用光致变色材料制作光致变色材料层;
在光致变色材料层上采用绝缘材料制作绝缘材料层。
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的