[发明专利]泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法有效

申请号：	201910816909.7	申请日：	2019-08-30
公开（公告）号：	CN110875223B	公开（公告）日：	2023-03-21
发明（设计）人：	陈裕凯;方进坤;高克斌;吴立仁	申请（专利权）人：	台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/66
代理公司：	北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006	代理人：	徐金国
地址：	中国台湾新竹市***	国省代码：	台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	泄漏检测系统整合装置方法
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【说明书】：

本揭露的实施例提供一种泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法。用于检测液体供应管的泄漏的系统包括：管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；及感测器系统，用以检测在端部处从液体供应管泄漏的液体的存在。感测器系统与液体供应管的端部对准。

技术领域

本揭露涉及泄漏检测系统、整合装置及泄漏检测方法。

背景技术

在集成电路(integrated circuit；Ic)制造的背景下，半导体晶元经历包括分配光阻剂至半导体晶元上的多个制程。对于分配，光阻剂经由液体供应管供应至喷嘴，并且随后经由喷嘴的排放口分配。液体供应管具有双管结构，该双管结构具有内管及围绕该内管的外管。光阻剂在内管中流动，并且例如水的温度控制流体在内管与外管之间的空间中流动。在一些实施例中，外管包括柔性塑胶材料。

发明内容

依据本揭露的部分实施例，提供一种泄漏检测系统，用于检测液体供应管的泄漏。泄漏检测系统包括管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；及感测器系统，用以检测在端部从液体供应管泄漏的液体的存在。感测器系统与液体供应管的端部对准。

依据本揭露的部分实施例，提供一种整合装置。整合装置包括：涂布装置，具有用以将处理液体分配至基板表面上的喷嘴；液体供应管，耦接至该喷嘴并且用以供应处理液体至该喷嘴；及喷嘴移动装置，用以将喷嘴从待机位置移动至分配位置，在该分配位置处发生处理液体至基板表面上的分配。喷嘴移动装置包括喷嘴臂、支撑构件，及引导构件。喷嘴臂经耦接至喷嘴臂的第一端。与第一端相对的喷嘴臂的第二端经安装在支撑构件的上部上。引导构件用以引导支撑构件从待机位置至分配位置的移动。整合装置进一步包括泄漏检测系统，用以自动地检测液体供应管的泄漏。泄漏检测系统包括管套，该管套包围与喷嘴相邻的液体供应管的端部；液体吸收纸，插入于管套与液体供应管的端部之间；及感测器系统，在支撑构件的侧壁上并且用以检测液体供应管的泄漏。

依据本揭露的部分实施例，提供一种泄漏检测方法，用于检测液体供应管的泄漏。泄漏检测方法包括将喷嘴从待机位置移动至分配位置。喷嘴连接至液体供应管并且用以分配处理液体至基板表面，与喷嘴相邻的液体供应管的端部是用管套覆盖。泄漏检测方法进一步包括当喷嘴从待机位置移动至分配位置时以光束照亮液体供应管的端部。泄漏检测方法进一步包括量测由液体供应管的端部折射的光束的强度。

附图说明

本揭露的各态样当与附图一起阅读时将从以下实施方式中最佳地理解。应注意，根据行业中的标准实践，各个特征并未按比例绘制。实际上，为了论述清晰起见，各个特征的尺寸可以任意地增加或减小。

图1A为根据一些实施例的涂布装置的示意图；

图1B为根据一些实施例的涂布装置的横截面图；

图2为根据一些实施例的涂布装置中的液体供应管的一部分的示图；

图3为根据一些实施例的用于自动地检测液体供应管的泄漏的泄漏检测系统的示图；

图4为根据一些实施例的用于自动地检测液体供应管的泄漏的方法的流程图；

图5为用于控制泄漏检测系统的操作的控制单元的方块图。

【符号说明】

100 涂布装置

102 处理腔室

102a 开口