[发明专利]感光性树脂组合物、使用其的感光性树脂层和电子装置

说明书

本发明公开：一种感光性树脂组合物，包含(A)碱溶性树脂、(B)感光性二氮醌化合物、(C)由化学式1表示的化合物以及(D)溶剂；感光性树脂层，使用所述感光性树脂组合物制造；以及电子装置，包含所述感光性树脂层。在化学式1中，每一取代基与说明书中所定义的相同。[化学式1]

相关申请的交叉引用

本申请案要求2018年9月03日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请案第10-2018-0104743号的优先权和权益，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。

技术领域

本公开涉及一种感光性树脂组合物以及使用其的感光性树脂层和电子装置。

背景技术

具有改善的耐热性、电特性以及机械特性的聚酰亚胺树脂、聚苯并恶唑树脂以及类似物已经广泛用于显示装置面板和半导体装置的材料中使用的表面保护层和层间绝缘层。由于这些树脂在各种溶剂中的溶解度较低，因此这些树脂通常提供为其前体溶解于溶剂中的组合物。

近年来，环境问题的出现已要求针对非-有机(de-organic)溶剂采取对策，且已提出可以与光刻胶相同的方式用碱性水溶液显影的各种类型的耐热性感光性树脂材料。

其中，已提出一种使用感光性树脂组合物的方法，所述感光性树脂组合物包含可溶于碱性水溶液中的羟基聚酰胺树脂与例如萘醌二叠氮化合物的光酸产生剂的混合物，所述羟基聚酰胺树脂在热固化之后为耐热性树脂。

感光性树脂组合物的感光性机制利用在未曝光部分中使感光性二氮醌化合物暴露于萘醌二叠氮化合物(即另一感光性二氮醌化合物)和聚苯并恶唑(polybenzoxazole，PBO)前体，且由此将感光性二氮醌化合物转换为茚羧酸化合物以提高碱性水溶液中的溶解速率。可使用曝光部分与未曝光部分之间的溶解速率的差来制造由未曝光部分构成的凸纹图案(relief pattern)。

感光性树脂组合物可通过用碱性水溶液曝光和显影来形成正凸纹图案。此外，可通过加热来获得热固化膜特性。

然而，在半导体和类似物的制造工艺中，进行精细处理，且图案之间的间隔变短。因此，当层减少量在显影期间变大时，在与开口的曝光部分相邻的未曝光部分中，未曝光部分的溶解速率较小，但在显影期间，显影溶液会接触层的侧边以及上侧。因此，图案的形状变得过薄，从而在半导体装置的制造工艺中降低半导体封装的可靠性。

因此，有必要在几乎没有溶解未曝光部分的情况下进行显影(这种现象称为显影膜残余率)。然而，当显影膜残余率增大时，需要高曝光剂量以用于曝光部分的现象(这称作低灵敏度)。

因此，已提出将单独添加剂添加到耐热性树脂前体的方法作为在显影期间增大膜残余率(显影性控制)和显影的灵敏度的方法。然而，使用常规使用的单独添加剂，显影后提升的改进并不令人满意，并且对于满足近来不断要求高灵敏度以提高感光性材料的特性的产出量的需求存在限制。

因此，研究继续开发能够解决这些问题的感光性树脂组合物。

发明内容

一实施例提供一种感光性树脂组合物，其能够通过使用具有特定结构的溶解控制剂改善显影性来提高灵敏度。

另一实施例提供一种使用感光性树脂组合物制造的感光性树脂层。

另一实施例提供一种包含感光性树脂层的电子装置。

一实施例提供一种感光性树脂组合物，其包含：(A)碱溶性树脂；(B)感光性二氮醌化合物；(C)由化学式1表示的化合物；以及(D)溶剂。

[化学式1]

在化学式1中，

L¹是单键或经取代或未经取代的C1到C20亚烷基，