[发明专利]静电卡盘、具有静电卡盘的附接设备以及附接方法

权利要求书

1.一种静电卡盘，支撑包含平面部分及从所述平面部分的边缘向外延伸的曲面部分的工件，所述静电卡盘包括：

静电膜，安装成面向所述工件的所述平面部分的后侧而定位；以及

可移动的支撑块，对应于所述工件的所述曲面部分的后侧而定位。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘，包括具有配置成容纳所述工件的空隙部分的主体，其中

所述静电膜及所述支撑块安装在所述主体的内壁上。

3.根据权利要求2所述的静电卡盘，其中所述支撑块中面向所述工件的所述曲面部分的支撑表面具有与所述曲面部分一致的曲率的形状。

4.根据权利要求1所述的静电卡盘，包括第一衬垫部分，所述第一衬垫部分定位于所述静电膜后方且具有收缩弹性和扩张弹性。

5.根据权利要求1至权利要求4中任一项所述的静电卡盘，其中所述支撑块可利用从所述工件施加的外力向后移动。

6.根据权利要求5所述的静电卡盘，包括第二衬垫部分，所述第二衬垫部分定位于所述支撑块后方且具有收缩弹性和扩张弹性。

7.根据权利要求6所述的静电卡盘，其中所述第二衬垫部分包括：

第一衬垫构件，定位于所述支撑块的宽度方向上的外侧上；以及

第二衬垫构件，定位于所述支撑块的上侧上。

8.根据权利要求3所述的静电卡盘，包括以下当中的至少一个：

粘合构件，可安装在所述支撑块的所述支撑表面上；以及

抽吸部分，包括抽吸管，所述抽吸管可安装于所述支撑块内部以对所述支撑表面产生真空吸力。

9.根据权利要求1至权利要求4中任一项所述的静电卡盘，包括：

扩张构件，定位于所述支撑块后方，且配置成可利用所供应的流体而扩张且可通过排放所述流体而收缩，其中

所述支撑块可通过所述扩张构件的扩张而移动到前侧，所述工件定位于所述前侧上。

10.根据权利要求2所述的静电卡盘，包括返回构件，所述返回构件安装成连接所述支撑块及所述主体，且具有用于通过所述扩张构件的扩张将所述支撑块移动到进行移动之前的状态的返回力。

11.根据权利要求10所述的静电卡盘，其中所述扩张构件包括：

第一扩张构件，定位于所述支撑块的宽度方向上的外侧上；以及

第二扩张构件，定位于所述支撑块的上侧上。

12.根据权利要求11所述的静电卡盘，其中所述返回构件包括：

第一返回构件，在所述支撑块的所述宽度方向上延伸且配置成连接所述支撑块及所述主体；以及

第二返回构件，在所述支撑块的高度方向上延伸且配置成连接所述支撑块及所述主体。

13.一种附接设备，用于将第二工件附接到第一工件，所述第一工件包括平面部分及曲面部分，所述曲面部分从所述平面部分的边缘沿向外方向延伸且具有曲率，所述附接设备包括：

腔室部分，具有内部空间；

静电卡盘，定位于所述腔室部分内部，配置成可向上及向下移动，并具有用于支撑所述第一工件的一个表面；

按压部分，面向所述腔室部分内部的所述静电卡盘而定位；以及

托盘，具有中空的形状，可定位于所述静电卡盘与所述按压部分之间，且配置成固定并支撑所述第二工件，其中

所述静电卡盘划分成与所述第一工件的所述平面部分对应的区域以及与所述曲面部分对应的区域，以及

与所述曲面部分对应的所述区域可移动。