[发明专利]一种多通道高精度SiC功率模块门极漏电测试系统

说明书

本发明公开了一种多通道高精度SiC功率模块门极漏电测试系统，包括双向连接的多通道扫描矩阵继电器、高精度数字源表，所述多通道扫描矩阵继电器分别通过探针和同轴屏蔽线连接SiC功率模块，所述探针和所述同轴屏蔽线作为SiC功率模块和所述多通道扫描矩阵继电器之间信号传输的载体；所述高精度数字源表用于产生激励信号并对SiC功率模块返回的响应信号进行分析，所述多通道扫描矩阵继电器通过开关切换，实现激励信号和响应信号的加载和传输。相比传统的测试系统，具有自动化程度高、测试范围广、测试精度高、通用性强的特点，为SiC功率模块门极漏电测试提供了更加优质的测试系统。

技术领域

本发明涉及SiC功率模块测试技术领域，尤其是一种多通道高精度SiC功率模块门极漏电测试系统。

背景技术

SiC功率模块是一种高频驱动、高效率、高功率的功率半导体模块，广泛应用于高功率密度电能转换、高性能电机驱动电机控制、高速电机等领域。目前，SiC功率模块的开关频率在高频阶段为30-100KHz区间，在极短时间内高频次开关，对于SiC功率模块的可靠性带来很大挑战。在实际生产中，需要对SiC功率模块进行门极漏电测试，并以极小测量范围，通常在1nA以下进行表征，以保证SiC功率模块门极长期工作的可靠性。

传统测试系统需要人工操作的环节较多，容易出错且测试时间较长，而且较多采用模块化矩阵开关，成本较高且自动化程度不高。因此，市场对于自动化程度高的SiC功率模块门极漏电测试系统是迫切需要的。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种多通道高精度、自动化程度高的SiC功率模块门极漏电测试系统。

一种多通道高精度SiC功率模块门极漏电测试系统，包括双向连接的多通道扫描矩阵继电器、高精度数字源表，所述多通道扫描矩阵继电器分别通过探针和同轴屏蔽线连接SiC功率模块，所述探针和所述同轴屏蔽线作为SiC功率模块和所述多通道扫描矩阵继电器之间信号传输的载体；

所述高精度数字源表用于产生激励信号并对SiC功率模块返回的响应信号进行分析，所述多通道扫描矩阵继电器通过开关切换，实现激励信号和响应信号的加载和传输。

进一步的，所述高精度数字源表采用可编程数字源表。

进一步的，测试过程中，SiC功率模块通过测试治具保持位置固定。

进一步的，测试系统的工作方式包括以下步骤：

S1，通过计算机向高精度数字源表输入测试代码；

S2，高精度数字源表执行测试代码并输出激励信号；

S3，多通道扫描矩阵继电器加载激励信号并传输至SiC功率模块；

S4，SiC功率模块收到激励信号并返回响应信号至多通道扫描矩阵继电器；

S5，多通道扫描矩阵继电器传输响应信号至高精度数字源表；

S6，高精度数字源表分析响应信号并传输反馈代码至计算机；

S7，计算机根据反馈代码分析测试数据并与预设值进行比较；

S8，根据比较结果确定SiC功率模块门极漏电测试结果。

本发明的有益效果：相比传统的测试系统，具有自动化程度高、测试范围广、测试精度高、通用性强的特点，为SiC功率模块门极漏电测试提供了更加优质的测试系统。

附图说明

图1为多通道高精度SiC功率模块门极漏电测试系统结构框图。

具体实施方式