[发明专利]一种镍磷层埋置电阻化学精细调阻方法及腐蚀剂有效
| 申请号： | 201910793565.2 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110473681B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 梁鸿飞;陈世金;徐缓;韩志伟;许伟廉;郭茂桂;陈苑明;张胜涛 | 申请（专利权）人： | 博敏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01C17/00 | 分类号： | H01C17/00;H01C17/14;C23F1/18 |
| 代理公司： | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为;冼俊鹏 |
| 地址： | 514000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镍磷层埋置 电阻 化学 精细 方法 腐蚀剂 | ||
1.一种镍磷层埋置电阻化学精细调阻方法，其特征在于：首先测量调阻前电阻的初始阻值R1，通过控制所述电阻在用于腐蚀镍磷合金层的腐蚀剂中的浸泡时间T得到所述电阻的目标阻值R2；
所述浸泡时间T满足式子：R2=aT2+bT+c+R1，其中，a、b、c为与所述电阻的方阻相对应常数系数；
所述腐蚀剂包括以下组分，
CuSO4•5H2O 200～300g
H2SO4 1～6ml
2-氨基苯并噻唑 0.1～2g
间硝基苯磺酸盐 1～4g
去离子水 900～1100ml。
2.根据权利要求1所述的一种镍磷层埋置电阻化学精细调阻方法，其特征在于：所述a、b、c的值具体是将与所述电阻的方阻一致的测试电阻浸入所述腐蚀剂中进行腐蚀测试并根据测试数据拟合得到。
3.根据权利要求2所述的一种镍磷层埋置电阻化学精细调阻方法，其特征在于：所述测试数据包括不同的腐蚀测试时间以及与各所述腐蚀测试时间对应的电阻值。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种镍磷层埋置电阻化学精细调阻方法，其特征在于：所述腐蚀剂的工作温度为50～90℃。
5.根据权利要求1所述的一种镍磷层埋置电阻化学精细调阻方法，所述H2SO4 的浓度≥95%。
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