[发明专利]一种太阳能电池切割钝化一体化加工方法及其太阳能电池有效
申请号: | 201910792106.2 | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN111463315B | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 杭州纤纳光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/304;H01L31/04 |
代理公司: | 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 | 代理人: | 杨文华 |
地址: | 311121 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 切割 钝化 一体化 加工 方法 及其 | ||
1.一种太阳能电池切割钝化一体化加工方法,所述太阳能电池从下往上依次包括基板、前电极层、吸光层和背电极层,其特征在于,在对所述背电极层进行激光结构化切割之前,在所述背电极层表面设置保护层,然后再透过所述保护层对背电极层或者对背电极层和吸光层同时进行激光结构化切割得到相应的结构化沟槽,而所述保护层保留不被激光切割,所述保护层的材料在激光结构化切割过程中受激光加工所产生的局部高温而部分熔化并渗进下面对应的结构化沟槽中。
2.如权利要求1所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法,其特征在于,还包括在对背电极层或者对背电极层和吸光层同时进行激光结构化切割过程完成后,剔除背电极层表面的保护层,而渗进结构化沟槽中的保护层材料则继续保留。
3.如权利要求1或2所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法,其特征在于,在所述激光结构化切割时,激光光线从保护层所在侧面对背电极层进行加工。
4.如权利要求1或2所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法,其特征在于,在所述激光结构化切割时,激光光线从基板所在侧面对背电极层进行加工。
5.如权利要求1所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法,其特征在于,所述保护层的材质为惰性、熔点低于600℃、电导率低于10-7S/M的材料。
6.如权利要求5所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法,其特征在于,所述保护层为聚合物塑料材质制成。
7.如权利要求6所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法,其特征在于,所述聚合物塑料包括聚二甲硅氧烷、聚磷腈、聚乙烯、聚丙烯以及聚苯乙烯。
8.如权利要求6或7所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法,其特征在于,所述聚合物塑料通过涂布方式涂覆在背电极层表面后制成胶膜。
9.一种太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池的背电极层上的结构化沟槽是采用如权利要求1至8中任意一项所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法加工的。
10.一种太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池的背电极层和吸光层上的结构化沟槽是采用如权利要求1至8中任意一项所述的太阳能电池切割钝化一体化加工方法加工的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的