[发明专利]正交通孔链测试结构开路失效的分析方法

权利要求书

1.一种正交通孔链测试结构开路失效的分析方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、先电性验证哪条正交通孔链出现开路情况，逐层研磨至失效位置上层介质层；

步骤2、将开路正交通孔链一端接地，使其处于接地状态，该通孔链另一端处于悬空状态，另一条相邻正常的通孔链处于悬空状态，在失效点处上层金属互联层会出现明暗差别的电压衬度图像，观察失效点处上层金属互联层上表面是否有失效点，若有，则执行步骤4；若没有，则失效点在下方通孔及下层金属互联层处，执行步骤3；

步骤3、在步骤2确定的上层金属互联层失效点处的X 方向与失效区域图案不同列且结构一致处，利用聚焦离子束去层直至看见下层金属互联层结构，去层区域中与失效点X方向所对应的下层金属互联层所在位置即为失效点下层金属互联层位置，从而确定透射电子显微镜的制样位置；

步骤4、通过截面透射电子显微镜，确定导致金属开路的失效机理。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤3所述失效区域图案不同列且结构一致处，是指在步骤2确定的上层金属互联层失效点处的X方向不同列的位置，距离失效点处5～10μm，结构面积2～4μm×6～8μm的位置。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤3所述利用聚焦离子束去层时采用的电压为30kV，电流为90pA～0.46nA。