[发明专利]多指型微型夹持器件

权利要求书

1.一种多指型微型夹持器件，其特征在于，所述多指型微型夹持器件包括平面微夹持结构及竖直微压指结构，所述平面微夹持结构包括第一基体、固定于第一基体侧部的驱动臂、固定于驱动臂端部的扩展臂、及固定于扩展臂末端的夹指，所述驱动臂、扩展臂及夹指对称分布，所述竖直微压指结构包括第二基体、固定于第二基体侧部的柔性梁、及固定于柔性梁端部的压指，所述第二基体垂直安装于第一基体上，所述驱动臂为电热驱动平行梁结构，通过驱动臂实现夹指在平面内的夹持，通过柔性梁实现压指在竖直方向上的压力。

2.根据权利要求1所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述驱动臂包括冷臂、热臂和柔性臂，所述热臂和柔性臂平行固定于第一基体侧部，热臂位于柔性臂的外侧，冷臂固定安装于热臂和柔性臂之间，且热臂的截面积小于冷臂的截面积。

3.根据权利要求2所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述热臂和柔性臂厚度与宽度相等，热臂与冷臂的厚度相等，且热臂的宽度小于冷臂的宽度。

4.根据权利要求3所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述驱动臂的材料为硅，柔性臂的长度为热臂长度的10％～15％，驱动臂的长度为100μm～5000μm，热臂和柔性臂的宽度为5～100μm。

5.根据权利要求2所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述第一基体上设有若干引线焊盘，所述热臂和柔性臂分别与引线焊盘电性连接，通过引线焊盘在驱动臂的热臂和柔性臂之间施加电压。

6.根据权利要求1所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述扩展臂为S形扩展臂，S形扩展臂包括若干间隔分布的横向梁和纵向梁，S形扩展臂的厚度为10μm～100μm，S形扩展臂总长度不小于500μm。

7.根据权利要求6所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述横向梁的长度自驱动臂向夹指方向全部或部分呈阶梯状减小，所述纵向梁的长度自驱动臂向夹指方向保持不变。

8.根据权利要求1所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述压指位于两夹指中间区域的下方，且压沿平面呈向上倾斜设置，倾斜角度为10°～15°。

9.根据权利要求1所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述第一基体和第二基体上分别设有对应的装配槽和装配插脚，所述第一基体和第二基体通过装配槽与装配插脚固定安装。

10.根据权利要求1所述的多指型微型夹持器件，其特征在于，所述夹指的内侧面和/或压指的下表面上设有锯齿结构，锯齿厚度为1μm～5μm，锯齿顶点角度为50°～70°。