[发明专利]检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其具有多个可动探针，使所述各可动探针与被检查基板上的多个检查对象物的每一个接触，以测定所述多个检查对象物间的电气特性，所述检查装置的特征在于，具备：

多个可动部，其支承所述各可动探针，使所述各可动探针在多个轴向上移动，从而将所述各可动探针定位在所述检查对象物的位置，使所述各可动探针与所述检查对象物接触；

驱动部，其驱动使所述各可动探针移动的所述各可动部；以及

驱动控制部，其根据作为所述各可动探针的下一个接触目的地的所述检查对象物的尺寸信息，控制使所述各可动探针移动的所述各可动部的动作速度，

在作为所述各可动探针的下一个接触目的地的所述检查对象物的尺寸信息大的情况下，所述驱动控制部将该可动探针的所述可动部的动作速度设为第1速度，

在作为所述各可动探针的下一个接触目的地的所述检查对象物的尺寸信息小的情况下，所述驱动控制部将该可动探针的所述可动部的动作速度设为比第1速度小的第2速度。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述驱动控制部根据所述各可动探针所接触的所述检查对象物的尺寸信息与作为下一个接触目的地的所述检查对象物的尺寸信息的比较结果，使所述各可动探针的所述可动部的动作速度可变。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

具备检查数据生成部，所述检查数据生成部生成所述被检查基板的所述各检查对象物的位置信息及所述各检查对象物的尺寸信息，

所述驱动控制部根据获取自所述检查数据生成部的所述各检查对象物的位置信息及所述各检查对象物的尺寸信息，控制使所述各可动探针移动的所述各可动部的动作速度。

4.一种检查方法，其具有多个可动探针，使所述各可动探针与被检查基板上的多个检查对象物的每一个接触，以测定所述多个检查对象物间的电气特性，所述检查方法的特征在于，

多个可动部的每一个支承所述各可动探针，使所述各可动探针在多个轴向上移动，从而使所述各可动探针定位在所述检查对象物的位置，使所述各可动探针与所述检查对象物接触，

驱动部驱动使所述各可动探针移动的所述各可动部，

驱动控制部根据作为所述各可动探针的下一个接触目的地的所述检查对象物的尺寸信息，控制使所述各可动探针移动的所述各可动部的动作速度，

在作为所述各可动探针的下一个接触目的地的所述检查对象物的尺寸信息大的情况下，所述驱动控制部将该可动探针的所述可动部的动作速度设为第1速度，

在作为所述各可动探针的下一个接触目的地的所述检查对象物的尺寸信息小的情况下，所述驱动控制部将该可动探针的所述可动部的动作速度设为比第1速度小的第2速度。