[发明专利]一种旋涂装置

权利要求书

1.一种旋涂装置，其特征在于，所述旋涂装置包括：

电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；

样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；

转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；

腔室，所述腔室的内部具有一定的容置空间，所述腔室设置在所述转盘的下方，且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；

弹性件，所述弹性件设置在所述腔室的底端，且所述弹性件套设在所述转动轴外部；

第一密封件，所述第一密封件设置在所述腔室的顶端，所述转盘插入所述腔室中，通过所述第一密封件完成所述腔室上部的气路密封；

第二密封件，所述第二密封件设置在所述腔室的底端与所述弹性件之间。

2.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述第一密封件、第二密封件、腔室、弹性件均通过所述转动轴与所述电机固定连接。

3.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述第一密封件和所述第二密封件均为黄铜圈。

4.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述腔室的一侧壁上垂直向外延伸出一圆筒结构，且所述圆筒结构为L型结构，或，一字型结构。

5.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述样片托盘的中心位置处开设有一通孔，且所述样片托盘上以所述通孔为中心开设有多个半环形气路槽。

6.如权利要求5所述的旋涂装置，其特征在于，所述样片托盘上开设有一凹槽，且所述凹槽的宽度范围为1～2mm，其中，通过所述凹槽以使多个所述半环形气路槽均与所述通孔相连通。

7.如权利要求5所述的旋涂装置，其特征在于，所述样片托盘外侧边部位置处开设有一环形平台，且所述环形平台的宽度范围为2～4mm。

8.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述转盘上开设有两个气路通道，且，所述转盘上相对开设有两个平衡孔，其中，两个所述平衡孔之间的连线与两个所述气路通道的中心线相垂直，以使高速旋转时两个所述气路通道的动平衡与受力均匀。

9.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。