[发明专利]感光性树脂、感光性树脂组合物及应用有效
申请号: | 201910775852.0 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN112415851B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 钱晓春;葛庆余;马培培;胡春青;于培培 | 申请(专利权)人: | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;泰兴先先化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;C08G63/547 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张美月 |
地址: | 213159 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 应用 | ||
本发明提供了一种感光性树脂、感光性树脂组合物及应用。该感光性树脂具有式(Ⅰ)所示结构。上述感光性树脂的分子链末端为酸酐开环的烯烃键,且开环双键的活性要优于闭环双键的活性,因而酸酐开环的烯烃键的存在一方面有利于提高感光性树脂的反应活性,另一方面还能够降低感光性树脂的重均分子量,同时降低低分子量聚合物的含量,进而能够提高光刻胶的显影速度,缩短工序时间,减小显影缺陷,提高图案的分辨率。上述两方面的原因使得式(Ⅰ)所示的感光性树脂具有感度好、固化速率高、显影速度快等优点。
技术领域
本发明涉及光固化领域,具体而言,涉及一种感光性树脂、感光性树脂组合物及应用。
背景技术
目前,薄膜晶体管液晶显示技术(简称LCD-TFT)的彩色显示是通过彩色滤光片(简称CF)来完成的。彩色滤光片是一种能够表现出光学特性的膜片,其可以选择不同波段的光通过。一般选用红、绿、蓝(简称RGB)三种颜色作为三原色,而过滤掉其他不需要的光,由RGB组成的像素点组成七种不同颜色的光,而使人眼可以接收到饱和的某个光线。作为彩色滤光片中的一个组成部分,黑色矩阵作为一条窄线框在玻璃基板的表面能够把其他三原色隔离开,防止混色。这能够起到使观察者不会混色,提高对比度及遮蔽光的作用。
为了提高黑色矩阵的遮光性和对比度,往往是通过提高颜料的含量方法,难以实现压缩位移和弹性回复率等黑矩阵的基本特性,而为了减少颜料的含量而增加炭黑的情况下,工序特性持续恶化,不良率变高,由此导致产品的成品率降低。原因主要是这样会导致感光性树脂固化效果不佳,所以需要提高感光性树脂的感度。
现有文献报道在感光性树脂组合物中加入二官能团的反应性单体(含有芴基的丙烯酸酯单体),可以提升该感光性树脂组合物于曝光时的交联程度,继而提高感度,以形成具有高精细图案的黑色矩阵。但是这种仅加入低分子可聚合单体的方法,提升曝光时的交联程度有限,无法形成单体与聚合物之间有效的交联结构。目前对黑色矩阵的最小线幅的要求越来越低,其中超细线宽需为4μm以下。
为了缩短制程工序时间,节约加工成本,可以通过提高感光性树脂感度的方法来降低曝光能量,引入更多的可聚合双键.。如另一篇现有文献提供了一种感光性树脂组合物,其包括具有羧基及聚合性不饱和基团的碱可溶性树脂,该感光性树脂组合物具有较好的感度,但是这种组合物不能满足黑色矩阵超细线宽的要求。
在此基础上,现有的感光性组合物存在感度较差、同时表面固化速度和显影速度慢的问题。鉴于上述问题的存在,有必要提供一种感度较高、表面固化速度和显影速度较快的感光性树脂及其组合物。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种感光性树脂、感光性树脂组合物及应用,以解决现有的感光性树脂存在感度较差、表面固化速度和显影速度慢的问题。
为了实现上述目的,本发明一个方面提供了一种感光性树脂,该感光性树脂具有式(Ⅰ)所示结构:
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