[发明专利]集成三种激光加工工艺的实验装置

权利要求书

1.一种集成三种激光加工工艺的实验装置，其特征在于：包括超快激光器(1)、二氧化碳激光器(2)、位于超快激光器(1)所发激光的光线传输路径上的第一组反射镜、位于二氧化碳激光器(2)所发激光的光线传输路径上的第二组反射镜、XY轴运动平台(3)和Z轴运动平台(4)，所述XY轴运动平台(3)上设有用于放置有可随其一同运动的工件，所述Z轴运动平台(4)上设有可随其一同运动用于加工工件的第一振镜组件(5)、第二振镜组件(6)、二氧化碳镜座组件(7)和激光切割组件(8)。

2.根据权利要求1所述的集成三种激光加工工艺的实验装置，其特征在于：还包括隔振光学平台(9)，该隔振光学平台(9)上设有用于放置Z轴运动平台(4)的龙门框架(10)，所述超快激光器(1)、二氧化碳激光器(2)和XY轴运动平台(3)均设置在隔振光学平台(9)上。

3.根据权利要求1所述的集成三种激光加工工艺的实验装置，其特征在于：所述二氧化碳激光器(2)出光口处还设有光快门(25)。

4.根据权利要求1所述的集成三种激光加工工艺的实验装置，其特征在于：所述第一组反射镜包括第一反射镜(11)、第二反射镜(12)、第三反射镜(13)、第四反射镜(14)、第五反射镜(15)、第六反射镜(16)、第七反射镜(17)和第八反射镜(18)，其中第一反射镜(11)、第二反射镜(12)、第三反射镜(13)、第四反射镜(14)、第五反射镜(15)和第七反射镜(17)按照超快激光器出光方向、加工工件时光束方向和实验装置空间位置依次排列形成第一道激光传播路径，并将激光传输至第一振镜组件(5)用于加工工件；第一反射镜(11)、第二反射镜(12)、第三反射镜(13)、第四反射镜(14)、第五反射镜(15)和第六反射镜(16)按照超快激光器出光方向、加工工件时光束方向和实验装置空间位置依次排列形成第二道激光传播路径，并将激光传输至第二振镜组件(6)用于加工工件；第一反射镜(11)、第二反射镜(12)、第三反射镜(13)、第四反射镜(14)、第五反射镜(15)和第八反射镜(18)按照超快激光器出光方向、加工工件时光束方向和实验装置空间位置依次排列形成第三道激光传播路径，并将激光传输至激光切割组件(8)用于加工工件。

5.根据权利要求1所述的集成三种激光加工工艺的实验装置，其特征在于：所述第二组反射镜包括第九反射镜(19)、第十反射镜(20)、第十一反射镜(21)和第十二反射镜(22)，并按照二氧化碳激光器出光方向、加工工件时光束方向和实验装置空间位置依次排列形成第四道激光传播路径，并将激光传输至二氧化碳镜座组件(7)用于加工工件。

6.根据权利要求1所述的集成三种激光加工工艺的实验装置，其特征在于：所述第一振镜组件(5)包括第一连接底板(501)，以及均位于第一连接底板(501)上的第一振镜(502)、第一场镜(503)和第十三反射镜(504)，其中第十三反射镜(504)用于反射超快激光器(1)所发激光并传输至第一场镜(503)用于加工工件。

7.根据权利要求1所述的集成三种激光加工工艺的实验装置，其特征在于：所述第二振镜组件(6)包括第二连接底板(601)，以及均位于第二连接底板(601)上的第二振镜(602)、第二场镜(603)和第十四反射镜(604)，其中第十四反射镜(604)用于反射超快激光器(1)所发激光并传输至第二场镜(603)用于加工工件。

8.根据权利要求1所述的集成三种激光加工工艺的实验装置，其特征在于：所述二氧化碳镜座组件(7)包括固定在Z轴运动平台(4)上的激光头调节块(701)和导向块(702)，以及与激光头调节块(701)螺栓连接且可沿Z轴运动平台(4)上下移动的安装有二氧化碳镜座(703)的激光头安装块(704)，该激光头安装块(704)上开设有与导向块(702)相适配的滑槽和用于连接Z轴运动平台的条形孔(705)，激光头安装块(704)通过螺钉与条形孔(705)可活动连接于Z轴运动平台(4)上。