[发明专利]一种晶圆划片机

权利要求书

1.一种晶圆划片机，包括机体(1)、导轨(2)、支撑座(3)、晶圆片(4)、滑轨(5)、主轴(6)、划刀(7)，导轨(2)安装在机体(1)内，支撑座(3)安装在导轨(2)上，晶圆片(4)安装在支撑座(3)上，滑轨(5)安装在机体(1)的内部，主轴(6)安装在滑轨(5)的底部，划刀(7)安装在主轴(6)的端部，其特征在于：所述支撑座(3)上安装有磁环(8)，所述支撑座(3)内安装有位于磁环(8)内圈处的卡套(9)，所述卡套(9)的内部填充有胶板(10)，所述胶板(10)的顶部与晶圆片(4)的底部粘接，所述主轴(6)的外圈处固定连接有磁杆(17)，所述磁杆(17)的端部固定连接有第一磁圈(18)，所述第一磁圈(18)的外圈处固定连接有磁棒(19)，所述磁棒(19)的端部固定连接有第二磁圈(20)，所述磁杆(17)、第一磁圈(18)、磁棒(19)、第二磁圈(20)的磁极均为相同磁极，所述磁杆(17)、第一磁圈(18)、磁棒(19)、第二磁圈(20)与磁环(8)为同极相斥状态，其中，将晶圆片安装在卡套内，晶圆片逐渐陷进胶板的内部，拧动螺栓，定位环与粘接环受到重力的作用，逐渐向下移动，直至粘接环覆盖在晶圆片的顶部，粘接环余晶圆片相适配，粘接环将晶圆片的正面包裹，启动划刀切割，在切割过程中磁杆、第一磁圈、磁棒、第二磁圈与磁环相斥的力度，再次将晶圆片限定在支撑座上，同时滑轨产生的磨屑，被磁杆、第一磁圈、磁棒、第二磁圈直接吸附。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机，其特征在于：所述支撑座(3)的顶部安装有支撑杆(11)，所述支撑杆(11)的外部滑动套装有滑动套(12)，所述滑动套(12)的外侧螺纹连接有螺栓(13)，所述螺栓(13)的端部贯穿并延伸至滑动套(12)的内部，所述滑动套(12)的侧面固定连接有支撑块(14)，所述支撑块(14)的端部固定连接有定位环(15)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆划片机，其特征在于：所述定位环(15)的内部填充有粘接环(16)，所述定位环(15)的直径大于晶圆片(4)的直径，所述粘接环(16)与晶圆片(4)为轴向滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机，其特征在于：所述胶板(10)的材质为工业级橡皮泥材质，所述粘接环(16)的材质为粘性橡胶圈，所述粘接环(16)上开设有若干个通孔，所述粘接环(16)上通孔的形状与晶圆片(4)的形状相适配。