[发明专利]气缸测速仪器

说明书

本发明公开了一种气缸测速仪器，包括：两个位置传感器，该两个位置传感器分别沿着气缸的活塞杆运动方向连接在气缸的两端，用于获得气缸两端的活塞杆经过时的位置信息和时刻信息；计算模块，计算模块与位置传感器连接，将从位置传感器接收到的数据进行运算处理，最终得到气缸活塞杆的速度。本发明提出的气缸测速仪器可以适用于不同型号气缸，并实现了对气缸速度的量化，可以精确的得到气缸活塞杆的速度，做到工业生产中气缸的统一标准化作业。

技术领域

本发明涉及工业设备技术领域，具体涉及一种气缸测速仪器。

背景技术

气缸在制造过程中或安装调试过程中需要对气缸活塞杆的运行速度进行测定和调试，例如，半导体制造传送机构广泛采用气缸驱动完成晶圆的传送，尤其以离子注入设备设计内部真空晶圆的传送要求特别高，气缸的速度快慢必须恰到好处，否者容易出现调速不当导致传送超时或者速度太快导致掉片。

目前气缸调速完全依靠工程师的经验判断，气缸的调整以及气缸速度异常的判断无量化标准，给工作带来极大困扰。

因而，通过测速设备对气缸的活塞杆的速度进行测量，是目前亟待解决的技术问题。

发明内容

为克服上述现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种气缸测速仪器，可以实现气缸速度的量化，统一气缸调节速度标准。

为达上述目的，本发明提出一种气缸调速仪器，包括：

位置传感器，该位置传感器与气缸相连，用于获得气缸的活塞杆经过时的位置信息和时刻信息；

计算模块，计算模块与位置传感器连接。

根据本发明的一些实施例，气缸测速仪器具有两个位置传感器，这两个位置传感器分别沿着气缸的活塞杆运动方向连接在气缸的两端。

根据本发明的一些实施例，两个位置传感器与气缸可拆卸地连接。

根据本发明的一些实施例，计算模块根据两个位置传感器获得的位置信息和时刻信息，经过运算，计算出位置差和时间差，并计算气缸活塞杆的速度。

根据本发明的一些实施例，计算模块带有显示器，用于显示位置差、时间差，以及气缸活塞杆的速度。

根据本发明的一些实施例，显示器能够设置显示速度单位、位置差单位以及时间差单位。

根据本发明的一些实施例，计算模块具有存储功能和删除功能，存储功能和删除功能用于对所测数据可选择地进行存储。

根据本发明的一些实施例，气缸包括调速阀安装孔，气缸的速度基于气缸测速仪器所测得的速度和预期速度的差值对调速阀进行调整。

根据本发明的一些实施例，调速阀调整气缸的活塞杆的速度，并根据气缸测速仪器对速度进行测量，建立气缸的速度-调节阀位置数据库。

根据本发明的一些实施例，气缸测速仪器所测得的速度数据，包括活塞杆进入气缸的速度，以及活塞杆冲出气缸的速度，可选择地计算并显示活塞杆进入气缸的速度和/或活塞杆冲出气缸的速度。

与现有技术相比，本发明的主要技术目的在于设计出一套适用于不同型号气缸的由位置传感器及计算模块组成的气缸测速仪器，从而实现气缸速度的量化，统一气缸调节速度标准。从而避免了现有技术通过人为经验对气缸的速度进行判断调整而容易造成工作上的失误。

附图说明

图1为本发明提供的气缸测速仪器工作结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明实施例进一步详细说明。