[发明专利]一种适合TIC3X三离子束切割仪的样品台有效
| 申请号： | 201910748487.4 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112397365B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 林初城;曾毅;郑维;张积梅;刘紫微;宋雪梅;姜彩芬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;张力允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适合 tic3x 离子束 切割 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种适合TIC3X三离子束切割仪的样品台，其特征在于，
包括：
通过旋转旋钮实现水平移动的水平位移装置；
安放于所述水平位移装置上的平移平台；
通过紧固螺丝固定在所述平移平台上的待加工试样安放台；
通过双面导电胶水平安放固定在所述待加工试样安放台上的样品；
所述平移平台上表面突出形成圆柱孔，所述圆柱孔中部设置所述紧固螺丝，所述圆柱孔底部设置步进螺丝；
所述待加工试样安放台下方设有与其一体加工的圆柱体，所述圆柱体直径小于所述圆柱孔内径；
通过所述步进螺丝来调节所述待加工试样安放台的高度，通过所述紧固螺丝固定所述圆柱体与所述待加工试样安放台；
所述样品采用水平安放的方式；
所述样品台能够对厚度在10mm至25mm的样品进行直接加工，也能够对只有一面抛光的样品进行直接加工。
2.根据权利要求1所述的适合TIC3X三离子束切割仪的样品台，其特征在于，
还具有固定在所述加工试样安放台上的支架，和
位于所述支架上将不需要离子束作用的区域进行遮挡的挡板。
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