[发明专利]触摸屏及其制作方法有效
| 申请号: | 201910744668.X | 申请日: | 2019-08-13 |
| 公开(公告)号: | CN110633021B | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
| 发明(设计)人: | 谢铭 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 触摸屏 及其 制作方法 | ||
本发明提供一种触摸屏及其制造方法。触摸屏包括阵列基板,所述阵列基板包括薄膜封装层、绝缘层、第一金属层、钝化层、第二金属层和平坦层。所述钝化层上设有过孔,所述第一金属层对应所述过孔的位置设有一凹陷,所述第二金属层延伸并穿过所述过孔且进一步延伸至所述第一金属层的凹陷内并于第一金属层电连接。触摸屏的制作方法包括步骤:提供一阵列基板、制作绝缘层、制作第一金属层、制作钝化层、制作第二金属层和制作平坦层。本发明利用挖孔蚀刻,加大了两层金属层的接触面积,降低了方块电阻,使连接强度增加且改善了弯折性能。
技术领域
本发明涉及触控领域,尤其涉及一种触摸屏及其制作方法。
背景技术
随着显示技术的快速发展,有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)柔性显示引起了人们极大关注,包括全面屏、可弯折,甚至可折叠,固定曲线形状的手机在未来市场会被广泛应用。柔性显示技术可以改变显示器件的形状,增加了显示的灵活性和多样性,因此有望为显示技术领域带来重大变革。
金属网格(Metal mesh)技术利用银、铜等金属材料在玻璃或聚乙二醇对苯二甲酸酯(PET)等塑胶薄膜上生长形成导电金属网格图案。金属网格的电阻率比氧化铟锡(ITO)低,通常氧化铟锡(ITO)的方块电阻(R□)目标值为10Ω时,其方块电阻的实际数值范围在8-12Ω之间,而金属网格的方块电阻小于10Ω/□,可以实现卷对卷生产,且网格的抗弯折性良好,可用于柔性折叠器件。Y-OCTA技术被三星开发且运用在柔性触控显示技术上,该设计利用金属网格直接在薄膜封装(TFE)上做触控线路,大大减少了原有外挂触摸屏(TP)和光学透明粘合剂(OCA)的厚度,使触控更薄更利于弯折。其利用碳纳米管(CNT)工艺连接上下两层金属形成网格用于柔性触控,但碳纳米管工艺使金属间阻抗加大,使得触控精度降低,影响整体柔性触控性能。
因此,有必要提供一种新的触摸屏及其制作方法,以克服现有技术中存在的问题。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种触摸屏及其制作方法,利用挖孔蚀刻,加大了两层金属层的接触面积,改善了碳纳米管的阻抗性能,从而提升了金属网格在连接处的可靠性能,并提升触控性能,而且在连接处采用加宽设计改善了柔性动态弯折性能。
为了解决上述问题,本发明提供一种触摸屏,包括阵列基板。所述阵列基板包括薄膜封装层、绝缘层、第一金属层、钝化层、第二金属层和平坦层。具体地讲,所述绝缘层设于所述薄膜封装层上;所述第一金属层设于所述绝缘层上;所述钝化层设于所述第一金属层上;所述第二金属层设于所述钝化层上;所述平坦层设于所述第二金属层上。
其中,所述第一金属层包括多个电极跨桥,所述第二金属层包括多个触控电极和金属走线;所述触控电极包括第一电极以及第二电极,所述第一电极与所述第二电极相互绝缘,相邻的所述第一电极沿第一方向通过所述电极跨桥电连接,相邻的第二电极沿与所述第一方向交叉的第二方向通过所述金属走线电连接;所述钝化层上设有多个过孔,所述过孔从所述钝化层临近所述第二金属层的第一电极表面朝向所述第一金属层的电极跨桥两端形成一内径逐渐减小的孔状结构,所述电极跨桥对应所述过孔的位置进一步凹设有一凹陷,所述第一电极延伸并穿过所述过孔且进一步延伸至所述电极跨桥的凹陷内并与所述第一电极电连接。
进一步地,所述过孔的宽度范围为1.4um-1.6um。
进一步地,所述过孔的侧壁与所述过孔的底边的垂线呈15°-30°的角。
进一步地,所述凹陷的底部于所述第一金属层厚度的1/2处。
进一步地,所述第一金属层或所述第二金属层包括层叠设置的第一钛金属层、铝金属层和第二钛金属层。具体的,所述铝金属层设于所述第一钛金属层的一侧;所述第二钛金属层设于所述铝金属层背离所述第一钛金属层的一侧。
进一步地,所述第一金属层或所述第二金属层包括纳米银线。
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