[发明专利]一种洁净室

权利要求书

1.一种洁净室，包括上技术夹层、下技术夹层以及位于所述上技术夹层和下技术夹层之间的洁净生产区；所述洁净生产区的两侧形成用于连通所述上技术夹层和下技术夹层的技术夹道；其特征在于，还包括调压设备组件，所述上技术夹层、下技术夹层以及洁净生产区内均设有隔板墙，所述洁净生产区内的隔板墙用于将所述洁净生产区分隔为带污染源生产区和无污染源生产区，所述上技术夹层内的隔板墙用于将所述上技术夹层分隔为带污染源上技术夹层和无污染源上技术夹层，所述下技术夹层内的隔板墙用于将所述下技术夹层分隔为带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层：其中，

所述上技术夹层内设有的隔板墙为双层以形成上技术夹层双墙夹道，所述调压设备组件用于调节所述上技术夹层双墙夹道内气压，以使洁净室正常生产时使所述上技术夹层双墙夹道内的气压高于与其相邻的带污染源上技术夹层和无污染源上技术夹层内的气压；

和/或；

所述下技术夹层内设有的隔板墙为双层以形成下技术夹层双墙夹道，所述调压设备组件用于调节所述下技术夹层双墙夹道内气压，以使洁净室正常生产时使所述下技术夹层双墙夹道内的气压高于与其相邻的带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层内的气压，或者，使洁净室正常生产时使所述下技术夹层双墙夹道内的气压低于与其相邻的带污染源下技术夹层和无污染源下技术夹层内的气压。

2.根据权利要求1所述的洁净室，其特征在于，所述洁净生产区内设有的隔板墙为双层以形成洁净生产区双墙夹道，所述调压设备组件还用于调节所述生产区双墙夹道内的气压，以使所述洁净生产区双墙夹道内的气压高于所述带污染源生产区和无污染源生产区内的气压。

3.根据权利要求2所述的洁净室，其特征在于，当所述下技术夹层内设有的隔板墙为双层以形成下技术夹层双墙夹道时，所述洁净生产区双墙夹道与所述下技术夹层双墙夹道连通、且与所述上技术夹层双墙夹道隔离，所述调压设备组件包括用于同时调节所述洁净生产区双墙夹道和下技术夹层双墙夹道内气压的第一调压设备和用于调节上技术夹层双墙夹道内气压的第二调压设备。

4.根据权利要求3所述的洁净室，其特征在于，所述第一调压设备包括用于与新风机组配合以用于向所述下技术夹层双墙夹道以及洁净生产区双墙夹道内供入洁净新风的第一供风设备；

所述第二调压设备包括用于与新风机组配合以用于向所述上技术夹层双墙夹道内供入洁净新风的第二供风设备。

5.根据权利要求4所述的洁净室，其特征在于，所述下技术夹层双墙夹道或所述洁净生产区双墙夹道内设有第一压差传感器，所述第一供风设备的出风管上设有用于根据所述第一压差传感器检测的差值调节开度的第一调节阀；

所述上技术夹层双墙夹道内设有第二压差传感器，所述第二供风设备的出风管上设有用于根据所述第二压差传感器检测的差值调节开度的第二调节阀。

6.根据权利要求2所述的洁净室，其特征在于，当所述下技术夹层内设有的隔板墙为双层以形成下技术夹层双墙夹道时，所述洁净生产区双墙夹道与所述下技术夹层双墙夹道及所述上技术夹层双墙夹道隔离，所述调压设备组件包括调节所述上技术夹层双墙夹道内气压的第一调压设备、调节所述洁净生产区双墙夹道内气压的第二调压设备和用于调节下技术夹层双墙夹道内气压的第三调压设备。

7.根据权利要求6所述的洁净室，其特征在于，所述第一调压设备包括用于与新风机组配合以用于向所述上技术夹层双墙夹道内供入洁净新风的第一供风设备；

所述第二调压设备包括用于与新风机组配合以用于向所述洁净生产区双墙夹道内供入洁净新风的第二供风设备；

所述第三调压设备包括用于将所述下技术夹层双墙夹道内气体排出的第一排风设备。

8.根据权利要求2所述的洁净室，其特征在于，还包括污染源收集集风箱和与污染源收集集风箱连通的沸石转轮机组；

所述污染源收集集风箱用于将所述带污染源生产区产生的污染源收集，并使收集的污染源进入到所述沸石转轮机组内。

9.根据权利要求2所述的洁净室，其特征在于，所述上技术夹层双墙夹道、所述下技术夹层双墙夹道和所述洁净生产区双墙夹道的宽度大于或等于600mm。