[发明专利]一种改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法和装置在审
| 申请号： | 201910734395.0 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110459647A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 刘晓瑞;王茜茜;周浩;职森森;吴仕梁;路忠林;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 江苏日托光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0236;H01L21/02;C30B33/10 |
| 代理公司： | 32326 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 朱磊<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 214028江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大尺寸硅片 臭氧 制绒 均匀性 绒面 槽体 鼓泡 方法和装置 后处理 光伏设备 降低设备 清洗效果 预清洗槽 槽侧壁 前处理 水洗槽 预清洗 槽盖 和绒 烘干 混酸 均一 喷淋 脏污 气管 加深 保证 | ||
1.一种改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，包括将大尺寸硅片依次经过预清洗臭氧-碱抛-前处理臭氧-制绒-后处理臭氧-混酸-烘干的步骤，得到绒面均匀的大尺寸硅片。
2.根据权利要求1所述改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，其特征在于：预清洗臭氧步骤中的反应溶液含体积比0.08％-0.5％的HCl、0.5％-5％HF和浓度为1-50ppm的臭氧，反应温度25-35℃，循环反应时间90-180s,之后经水喷淋清洗，清洗掉臭氧和酸性溶液。
3.根据权利要求1所述改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，其特征在于：碱抛步骤中的反应溶液含体积比为0.5％-5％的KOH，反应温度为65-75℃，循环反应时间90-150s，碱抛后经水槽清洗。
4.根据权利要求1所述改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，其特征在于：前处理臭氧步骤中的反应溶液含体积比0.08％-0.5％的HCl和浓度1-50ppm的臭氧，室温下循环反应80-150s，之后经水喷淋清洗，清洗掉臭氧和酸性溶液。
5.根据权利要求1所述改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，其特征在于：制绒步骤中的反应溶液含体积比为1％-5％的KOH,0.5-4％的快速制绒添加剂，在82℃循环反应350-450s，制绒后经水槽清洗。
6.根据权利要求1所述改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，其特征在于：后处理臭氧步骤中的反应溶液含体积比0.08％-0.5％的HCl和浓度1-50ppm的臭氧，室温下循环反应80-150s，之后经水喷淋清洗，清洗掉臭氧和酸性溶液。
7.根据权利要求1所述改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，其特征在于：混酸步骤中的反应溶液含体积比6％-10％HCl和8％-12％的HF，室温下反应100s-200s，酸洗后经水槽清洗。
8.根据权利要求1所述改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，其特征在于：烘干步骤中的温度为80-100℃。
9.一种改善大尺寸硅片制绒均匀性的装置，包括安置在预清洗臭氧槽,碱抛槽,前处理臭氧槽,制绒槽,后处理臭氧槽和混酸槽内的鼓泡板，其特征在于：所述鼓泡板分别安置在各槽的侧壁及底部，所述鼓泡板的下端连通气管。
10.根据权利要求9所述改善大尺寸硅片制绒均匀性的装置，其特征在于：所述鼓泡板上设有4个阵列排列、经气管通入氮气进行鼓泡的导气孔。
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