[发明专利]一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置

权利要求书

1.一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，所述装置包括检测单元和计算单元；

所述检测单元包括四组恒温热导池，所述恒温热导池内均设置有热敏电阻，四组所述恒温热导池中两组作为参比池，其余两组作为测量池，所述参比池内封装参比气体，所述测量池内流通待测气体，所述待测气体为包含单项常量杂质气体的氖气，四组所述热敏电阻构成惠斯通电桥，两组参比池的热敏电阻或两组测量池的热敏电阻彼此相对布置，所述惠斯通电桥内通有恒定电流；

所述计算单元用于根据所述惠斯通电桥输出的不平衡电势计算所述测量池内热敏电阻的电阻值，根据所述电阻值计算得到待测气体的热导率，并根据所述热导率计算待测气体中杂质气体的含量；

两组所述参比池的热敏电阻分别为R1和R2，两组所述测量池的热敏电阻分别为R3和R4，热敏电阻R1和热敏电阻R3的串联支路与热敏电阻R2和热敏电阻R4的串联支路并联形成惠斯通电桥；

所述热敏电阻R1和热敏电阻R3之间的节点为第一输出端，热敏电阻R2和热敏电阻R4之间的节点为第二输出端，所述惠斯通电桥输出的不平衡电势为所述第一输出端和第二输出端之间的电势差。

2.根据权利要求1所述的一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，所述测量池两端分别设置有进气口和出气口，所述待测气体经所述进气口流入，并由所述出气口流出。

3.根据权利要求1所述的一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，所述恒温热导池均设置于恒温装置内。

4.根据权利要求1所述的一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，所述参比气体为纯氖气，所述待测气体为包含单项常量杂质气体的氖气。

5.根据权利要求1所述的一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，所述参比气体为包含已知含量的单项常量杂质气体的氖气，所述待测气体为包含与所述参比气体相同种类的单项常量杂质气体的氖气。

6.根据权利要求5中所述的一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，通过改变参比气体的氖气中包含的单项常量杂质气体的含量，以改变对于对应单项杂质气体检测的量程和精度。

7.根据权利要求4或5或6所述的一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，所述单项常量杂质气体为氮气、氦气、氧气或氢气中的任一种。

8.根据权利要求1所述的一种检测氖气中单项常量杂质气体含量的装置，其特征在于，四组所述热敏电阻在相同温度下的电阻值相同。