[发明专利]铝钪合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括：

选取纯度在99.99%以上的金属铝和纯度在99.99%以上的金属钪；

按金属钪的质量百分比含量为5%～40%，金属铝的质量百分比含量为60%～95% 配料，金属钪熔化后将所述金属铝分多次对掺到所述金属钪中，反复熔炼，得到预期的铝钪合金；其中，每次所掺金属铝的质量不超过所述钪的总质量的200%；熔炼时将悬浮炉抽真空至1Pa以下并充入惰性气体，且每次熔炼保温5～15min，冷却后继续进行下一次的对掺及熔炼；

将所述铝钪合金浇铸到模具中，得到铝钪合金靶坯；

将所述铝钪合金靶坯进行机加工得到所述铝钪合金靶材。

2.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，将所述铝钪合金靶坯进行机加工之前，还包括：对所述铝钪合金靶坯进行剥皮，模锻，热轧，整平，以及退火。

3.根据权利要求2所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，对所述铝钪合金靶坯进行剥皮，模锻，热轧，整平，退火的步骤，包括：

将所述铝钪合金靶坯剥皮；

将剥皮后的靶坯在300℃～750℃ 保温60min，然后在100MPa～400MPa压力下进行模锻，其中，锻造比为1.05～1.2；

将模锻后的铝钪靶材，在300℃～750℃保温20～50min后进行轧制，其中，总压下率不超过35%；

轧制完将铝钪靶材整平；

在真空退火炉中，以惰性气体保护，保温温度300℃～750℃，保温时间30min～60min，去应力退火。

4.根据权利要求3所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，得到的所述铝钪合金靶材的含氧量低于100ppm，平均晶粒尺寸低于100μm。

5.一种铝钪合金靶材，其特征在于，所述铝钪合金靶材根据权利要求1～4任一项所述的铝钪合金靶材的制备方法制备得到。