[发明专利]一种真空型太赫兹干燥探头及检测方法

权利要求书

1.一种真空型太赫兹干燥探头，其特征在于，包括：

腔体、抽真空模块、太赫兹波发射模块、太赫兹波接收模块，所述腔体内设置有用于调节太赫兹波传输方向的调节装置和用于放置被测物体的置物台；所述抽真空模块与所述腔体对接，对所述腔体进行抽真空；

所述太赫兹波发射模块和所述太赫兹波接收模块设置于所述腔体外部；

所述调节装置接收所述太赫兹波发射模块发出的太赫兹波，并将所述太赫兹波聚焦到被测物体表面；

所述调节装置将穿过所述被测物体表面的太赫兹波发送给所述太赫兹波接收模块，对被测物体进行检测。

2.根据权利要求1所述的真空型太赫兹干燥探头，其特征在于，所述调节装置包括入射波通路调节模块、检测通路调节模块和出射波通路调节模块；所述入射波通路调节模块将所述太赫兹发射模块发出的太赫兹波转换为平行入射的太赫兹波，并传输至所述检测通路调节模块；所述检测通路调节模块将太赫兹波聚焦到被测物体处，并将所述太赫兹波传输至出射波通路调节模块，通过所述出射波通路调节模块将所述太赫兹波汇聚到所述太赫兹波接收模块。

3.根据权利要求2所述的真空型太赫兹干燥探头，其特征在于，所述检测通路调节模块包括两个位置相对且焦点汇聚于一点的抛物面镜，被测物体放置于所述抛物面镜的焦点处；所述平行入射的太赫兹波经过其中一个所述抛物面镜，聚焦于抛物面镜的焦点，太赫兹波穿过焦点处的所述被测物体，传输至另一个所述抛物面镜，所述太赫兹波被转换为平行的出射波发送给出射波通路调节模块。

4.根据权利要求3所述的真空型太赫兹干燥探头，其特征在于，所述置物台由所述腔体内壁向内延伸，所述置物台经过所述抛物面镜的焦点，将被测物体置入置物台中所述抛物面镜焦点对应位置，通过太赫兹波穿过所述被测物体，对被测物体指定位置进行检测。

5.根据权利要求1所述的真空型太赫兹干燥探头，其特征在于，所述置物台包括封口部件，所述封口部件与所述腔体配合在所述腔体内形成封闭空间。

6.根据权利要求2所述的真空型太赫兹干燥探头，其特征在于，所述入射波通路调节模块包括一组透镜，将所述透镜焦点处的太赫兹波折射成平行于所述透镜主轴的太赫兹波。

7.根据权利要求2所述的真空型太赫兹干燥探头，其特征在于，所述出射波通路调节模块包括一组透镜，将平行于所述透镜主轴的太赫兹波聚焦到所述透镜的焦点。

8.根据权利要求3所述的真空型太赫兹干燥探头，其特征在于，在不改变常规抛物面镜整体结构的情况下，将所述常规抛物面镜的焦点旋转90度，获取所述检测通路调节模块的所述抛物面镜。

9.一种利用如权利要求1-8任一所述的真空型太赫兹干燥探头的检测方法，其特征在于，包括：

将被测物体置入所述置物台；

对所述腔体进行抽真空；

将所述太赫兹波发射模块发出的太赫兹波聚焦到所述被测物体表面；

通过所述太赫兹波接收模块接收穿过所述被测物体表面的太赫兹波，对被测物体进行检测。

10.根据权利要求9所述的真空型太赫兹干燥探头的检测方法，其特征在于，所述置物台包括封口部件，将被测物体置入所述置物台中，通过所述封口部件与所述腔体配合在所述腔体内形成封闭空间，对所述封闭空间进行抽真空。