[发明专利]一种抛光设备、抛光方法及抛光液

权利要求书

1.一种抛光设备，适用于利用SiO₂纳米颗粒液体抛光表面结构复杂的金属工件，其特征在于，所述抛光设备包括：

抛光桶，包括侧壁和底板，所述侧壁和所述底板围成容纳腔，所述容纳腔用于盛放SiO₂纳米颗粒液体；

第一电机，固定在所述抛光桶上；

搅拌器，位于所述容纳腔的底部，被所述第一电机驱动旋转，搅动所述容纳腔内的SiO₂纳米颗粒液体；

夹具，被固定在抛光桶内，用于固定金属工件。

2.如权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，还包括固定于所述侧壁内表面的挡板，并且所述挡板凸出于所述侧壁内表面。

3.如权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述挡板为长条状；数量为4-6个，等间距分布。

4.如权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述挡板凸出所述侧壁内表面的高度与所述容纳桶直径的比值为1/15-1/10。

5.如权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，还包括第二电机和连接轴，所述第二电机固定于所述抛光桶，所述第二电机连接所述连接轴，所述连接轴与所述夹具可拆卸连接。

6.一种抛光方法，其特征在于，包括如下步骤：

在设备容纳腔中投放SiO₂纳米颗粒液体；

将金属工件装卡于夹具；

将装卡了金属工件的夹具安装固定在容纳腔中；

启动第一电机，驱动搅拌器旋转，带动SiO₂纳米颗粒液体形成粒子流，粒子流与金属工件碰撞、摩擦。

7.如权利要求6所述的抛光方法，其特征在于，还包括启动第二电机，驱动金属工件自转的步骤，并且所述自转的方向与所述搅拌器旋转方向相反。

8.一种抛光液，按重量份计包括如下组分：

SiO₂纳米颗粒，10-20份，所述颗粒平均直径为50～60纳米；

水，80-90份。

9.如权利要求8所述的抛光液，其特征在于，还包括分子量为300～500的聚乙二醇，按体积份数计，所述抛光液为100份，所述聚乙二醇为1-3份。

10.如权利要求8或9所述的抛光液，其特征在于，还包括润滑剂，按体积份数计，所述抛光液为100份，所述润滑剂为1-2份。