[发明专利]一种折叠式电光调制器及其制备方法

权利要求书

1.一种折叠式电光调制器，包括至少一根用于电光调制的波导、调制电极，其特征在于，所述的用于调制的波导有至少两段直波导和至少一段弯曲波导结构组成；所述的用于构成调制波导的相邻两段直波导由弯曲波导结构相连接；所述的调制波导经过极化反转处理使得弯曲波导相连接的两段直波导的光轴方向相反，实现对信号光相位或者强度的调制。

2.根据权利要求1所述的折叠式电光调制器，其特征在于：通过极化反转工艺处理后，用于实现调制的波导在经过弯曲波导前后其波导光轴方向与所施加的电场方向的相对关系始终保持一致。

3.根据权利要求2所述的折叠式电光调制器，其特征在于：每段用于调制的直波导尺寸相同，极化反转处理使得一个波导臂的i个直线波导光轴方向与所施加电场方向的相对关系一致，该波导臂总体相位变化为iΔnL×2π/λ，Δn为该直波导臂折射率变化值，L为直线波导长度，λ为工作波长。

4.根据权利要求2所述的折叠式电光调制器，其特征在于：对于强度电光调制，两条波导臂各有i个用于调制的直波导，每条波导臂经过极化处理后，用于调制的波导其光轴方向与所施加电场方向的相对关系一致，且对于两条波导臂中，其相对关系相反；在外加电场作用下，两波导臂的相位差Δφ＝2iΔnL×2π/λ+Δφ₀，Δφ₀是两波导臂初始的相位差，当Δφ为π的偶数倍时两束光发生相消干涉，为π的奇数倍时两束光发生相长干涉，实现电光强度调制。

5.根据权利要求3或4所述的折叠式电光调制器，其特征在于：所述波导的材料为III-V族材料、具有电光效应的聚合物和具有电光效应且可实现光轴反转的电光材料包括磷酸氧钛钾、钽酸锂以及铌酸锂。

6.根据权利要求3或4所述的折叠式电光调制器，其特征在于所述的极化反转包括外加电场、激光诱导实现光轴反转。

7.一种制备如权利要求1-6任一所述的折叠式电光调制器的制备方法，其特征在于：

S1.通过常规光刻和刻蚀技术制造用于调制的波导结构；

S2.在用于实现电光调制波导上根据所采用的材料制造用于极化的电极；

S3.通过外加高压电场极化技术对波导做极化处理；

S4.采用包括光刻、溅射方法制造调制电极。

8.根据权利要求7所述的折叠式电光调制器的制备方法，其特征在于：所述光刻采用的方法包括步进式光刻机、接触式光刻机、电子束直写、激光直写。

9.根据权利要求7所述的折叠式电光调制器的制备方法，其特征在于：所述的刻蚀方法包括干法刻蚀、湿法刻蚀。

10.根据权利要求7所述的折叠式电光调制器的制备方法，其特征在于：所述的溅射的方法包括磁控溅射、电子束蒸镀、电镀。