[发明专利]氩离子切割装置

权利要求书

1.一种氩离子切割装置，其特征在于，包括至少两个氩离子源、样品台、离子束挡板、底座和驱动装置；所述样品台朝向所述氩离子源的侧面为承载面，样品固定在所述承载面上；所述离子束挡板位于所述氩离子源与所述样品台之间，且所述离子束挡板遮蔽部分所述氩离子源射向所述样品的氩离子束；所述样品台和所述离子束挡板固定在所述底座上；所述驱动装置与所述底座连接以带动所述底座移动；

所述驱动装置包括滑轨、滑块和第一驱动件；所述滑轨垂直于两个所述氩离子源之间夹角的平分线，所述滑块可滑动地设置在所述滑轨上，所述第一驱动件的输出端与所述滑块相连，所述滑块还与所述底座固定连接；所述第一驱动件包括平移电机，所述平移电机带动所述底座在所述样品的切割面的预设宽度内匀速移动；

所述驱动装置还包括第二驱动件，所述第二驱动件为旋转电机，所述旋转电机与所述底座固定连接，所述旋转电机带动所述底座匀速转动。

2.根据权利要求1所述的氩离子切割装置，其特征在于，还包括支架，所述支架与所述滑块和所述底座可拆卸地连接，所述滑块通过所述支架与所述底座固定连接。

3.根据权利要求1所述的氩离子切割装置，其特征在于，所述底座的底部设置有卡合结构，所述旋转电机的连接轴的一端安装有接头，所述旋转电机的所述接头与所述底座的所述卡合结构可拆卸地连接。

4.根据权利要求1所述的氩离子切割装置，其特征在于，所述底座与所述离子束挡板可拆卸地连接，所述底座与所述样品台可拆卸地连接。

5.根据权利要求1所述的氩离子切割装置，其特征在于，所述离子束挡板安装在挡板支架上，所述离子束挡板和所述挡板支架可拆卸地连接。