[发明专利]多光束激光回馈干涉仪

权利要求书

1.一种多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，包括：

激光组件(10)，包括半导体激光器阵列(110)和微片激光晶体(120)，用于输出六束同向且平行的激光，其中包括五束测量光和一束参考光，且第一测量光与第二测量光位于同一竖直面内，所述第二测量光与第三测量光位于同一水平面内；

分光镜(20)，设置于从所述激光组件(10)出射激光的光路上，用于将入射光线分为反射光和透射光，所述反射光用于光强探测和信号解调，所述透射光用于经待测目标反射后生成回馈光；

声光移频组件(30)，设置于从所述分光镜(20)出射所述透射光的光路上，用于对所述透射光进行移频处理；

光束调整组件(410)，设置于从所述声光移频组件(30)出射的光路上，用于减小所述透射光的光束有效截面半径和光束发散角；

扩束准直镜(420)，设置于从所述光束调整组件(410)出射的光路上，用于扩束并减小所述透射光的光束发散角；

棱镜组件(50)，设置于从所述扩束准直镜(420)出射的光路上，用于使入射的所述测量光沿原光路返回，在使用时所述棱镜组件(50)与所述待测目标连接；

参考目标(60)，靠近并可调整与所述待测目标的距离，且垂直于来自所述扩束准直镜(420)的出射光，一束所述透射光被所述参考目标(60)反射后沿原光路返回所述激光组件(10)作为所述参考光，其余五束所述透射光被所述待测目标反射后沿原光路返回所述激光组件(10)作为所述测量光，所述参考光和所述测量光分别返回所述激光组件(10)与激光器腔内光场干涉，形成的干涉光又出射，再到达所述参考目标(60)和所述待测目标，如此循环；

光电探测组件(70)，设置于从所述分光镜(20)出射所述反射光的光路上，用于探测所述干涉光并转化为电信号；以及

信号处理系统(80)，与所述光电探测组件(70)电连接，用于接收所述光电探测组件(70)输出的电信号，并计算所述待测目标的位移、俯仰角、偏摆角和两个方向的直线度。

2.根据权利要求1所述的多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，所述半导体激光器阵列(110)包括六个半导体激光器(111)，所述六个半导体激光器(111)间隔设置且排列方式为两行三列。

3.根据权利要求1所述的多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，所述棱镜组件(50)包括两个不同折射率的光楔(510)，且两个所述光楔(510)的斜面贴合设置为一个整体。

4.根据权利要求3所述的多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，组合后的两个所述光楔(510)与所述待测目标贴合的表面镀有反射膜(511)，所述反射膜(511)用于使入射光线沿原光路返回。

5.根据权利要求1所述的多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，还包括衰减片(430)，设置于从所述光束调整组件(410)出射的光路上，且位于所述光束调整组件(410)与所述扩束准直镜(420)之间，用于调节所述回馈光的大小。

6.根据权利要求1所述的多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，所述声光移频组件(30)包括第一声光移频器(310)和第二声光移频器(320)，所述第一声光移频器(310)和所述第二声光移频器(320)与所述分光镜(20)和所述待测目标串联设置。

7.根据权利要求6所述的多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，所述第一声光移频器(310)和所述第二声光移频器(320)的开口面积大于所述六束同向且平行的激光垂直于传输方向的截面面积。

8.根据权利要求6所述的多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，所述声光移频组件(30)还包括两个声光移频驱动器(330)，分别与所述第一声光移频器(310)和所述第二声光移频器(320)电连接。