[发明专利]感光性树脂组合物和由其形成的光固化图案在审
申请号: | 201910710455.5 | 申请日: | 2019-08-02 |
公开(公告)号: | CN110824842A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 安奎相;全吉敏;赵庸桓 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/038;G03F7/004 |
代理公司: | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人: | 杨黎峰;石宝忠 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 形成 光固化 图案 | ||
一种感光性树脂组合物,包括:碱溶性树脂、光聚合性化合物、聚合引发剂和溶剂,所述碱溶性树脂包括(甲基)丙烯酸苯酯衍生的单元、含环氧基的基团和含羧酸的单元。从(甲基)丙烯酸苯酯衍生的单元可以改善化学可靠性和稳定性、热可靠性和稳定性、机械可靠性和稳定性。
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物和由其形成的光固化图案。更具体地,本发明涉及负型感光性树脂组合物和由其形成的光固化图案。
背景技术
在显示装置中,感光性树脂组合物用于形成各种光固化图案,例如光致抗蚀剂、绝缘层、保护层、黑矩阵、柱状间隔物等。例如,通过光刻工艺选择性地曝光和显影感光性树脂组合物,以形成所需的光固化图案。在该方法中,光致抗蚀剂树脂组合物具有高感光度并且其图案具有改善的耐热性和耐化学性可能是有利的,从而可以提高工艺生产率并且还可以改善组合物的目标性能。
感光性树脂组合物可以分为正型和负型。在由正型组合物形成的光致抗蚀剂中,改变曝光部分的化学结构,并通过显影液溶解和除去曝光部分。在由负型组合物形成的光致抗蚀剂中,增加曝光部分的聚合度并且固化曝光部分。因此,曝光部分不会被显影液溶解从而在显影工序之后保留。
例如,当使用感光性树脂组合物形成显示装置的保护层(例如,外涂层、封装层)时,可以使用负型组合物。当选择负型组合物中的成分时,考虑高温工艺和化学工艺期间的耐久性,使得在显示装置制造中不会改变或变换层颜色、层性能等。
韩国公开专利申请第2016-0059316号公开了一种感光性树脂组合物,其包含含有环氧基单元的碱溶性树脂并且可以容易地平坦化。然而,来自该组合物的图案可能不具有足够的化学和机械可靠性。
发明内容
根据本发明的一个方面,提供一种具有改进的化学和机械可靠性的感光性树脂组合物。
根据本发明的一个方面,提供一种由具有改善的化学和机械可靠性的感光性树脂组合物形成的光固化图案以及包括该光固化图案的图像显示装置。
通过以下特征或构造将实现本发明构思的以上方面:
(1)感光性树脂组合物,其包含:碱溶性树脂,其包括由化学式1表示的(甲基)丙烯酸苯酯衍生的单元、含环氧基的基团和含羧酸的单元;光聚合性化合物;聚合引发剂;和溶剂。
[化学式1]
在上述化学式1中,Ra是氢或甲基。
(2)根据上述(1)所述的感光性树脂组合物,其中所述含环氧基的基团包括由化学式2-1和化学式2-2表示的结构中的至少一个。
[化学式2-1]
[化学式2-2]
在上述化学式2-1和2-2中,Rb和Rc独立地为氢或甲基。
(3)根据上述(1)所述的感光性树脂组合物,其中所述含羧酸的单元包括由化学式3表示的结构。
[化学式3]
在上述化学式3中,Rd是氢或甲基。
(4)根据上述(1)所述的感光性树脂组合物,其中所述碱溶性树脂包括由结构式1表示的结构单元。
[结构式1]
在上述结构式1中,Ra、Rb、Rc和Rd独立地为氢或甲基,
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