[发明专利]可控性气体浓度检测设备

权利要求书

1.可控性气体浓度检测设备，其特征在于，包括：气体采集装置、管状气室、激光发生器、信号探测器、锁相放大器、数据采集卡；

所述气体采集装置包括气体过滤设备、恒流恒压设备；

所述气体过滤设备为树脂纤维滤管，用于滤除对被测气体检测信号产生ppb量级或更大信号干扰的微粒；所述气体过滤设备安装在管状气室的入口；所述气体过滤设备出口位置处安装恒流恒压设备；所述恒流恒压设备包括微量取样泵和恒流控制阀；所述微量取样泵，用于对被检测气体取样获取取样气体；所述恒流控制阀对取样气体的流速和压力进行恒定控制；

所述管状气室用于接收稳定流速的取样气体；所述激光发生器，用于向管状气室内发射不同波长的激光束；所述信号探测器，用于接收管状气室内的激光束；所述信号探测器与锁相放大器连接，用于从激光束信号的获取特定频率的信号并对激光束信号进行去噪；

所述锁相放大器与数据采集卡连接；所述数据采集卡，用于从去噪后的激光束中采集第一电压信号，并将所述第一电压信号传递至所述控制模块；

所述管状气室还与电化学传感器模组相连，所述电化学传感器模组，用于对管状气室输出的取样气体进行检测；所述电化学传感器模组与所述数据采集卡相连；所述数据采集卡，还用于从电化学传感器模组检测到的信号中采集第二电压信号，并将所述第二电压信号传递至所述控制模块；

所述控制模块与所述数据采集卡相连，所述控制模块，还用于对所述数据采集卡采集到的第一电压信号与第二电压信号进行处理，得到待检测气体的浓度值。

2.根据权利要求1所述的可控性气体浓度检测设备，其特征在于，所述树脂纤维滤管还可以采用活性炭管或者活性氧化铝管代替。

3.根据权利要求1所述的可控性气体浓度检测设备，其特征在于，所述激光发生器还连接激光驱动器；所述激光驱动器，用于控制所述激光器产生不同波长的激光束。

4.根据权利要求1所述的可控性气体浓度检测设备，其特征在于，所述气体过滤设备出口位置处还安装恒湿恒温设备；所述恒温恒湿设备由仅与水分子作用的恒湿材料制作的导管以及填充在导管周围的，根据恒湿要求选定的调节气样湿度的介质，当气体通过该导管时，其中的水分子将通过导管膜的渗透与介质建立一种可以控制的湿度平衡从而实现恒湿。