[发明专利]一种具有喇叭状孔隙结构的氧化钨薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种具有喇叭状孔隙结构的氧化钨薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

步骤1，配制氧化钨溶胶；

将六氯化钨与无水乙醇混合，室温搅拌至其溶解，再加入高沸点有机物，常温搅拌至澄清透明，即得氧化钨溶胶；

步骤2，提拉制备凝胶薄膜；

将获得的氧化钨溶胶通过浸渍提拉法在导电玻璃基板上制备凝胶薄膜；

步骤3，将覆有氧化钨凝胶膜的导电玻璃基板样品放置于敞开的加热板上，进行热处理，热处理后将样品从加热板上取出，风冷，即得。

2.根据权利要求1所述的一种具有喇叭状孔隙结构的氧化钨薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1中，所述高沸点有机物为丙三醇或聚乙二醇200。

3.根据权利要求2所述的一种具有喇叭状孔隙结构的氧化钨薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1中，钨原子与乙醇的摩尔比为1：17～34；所述高沸点有机物为聚乙二醇200时，聚乙二醇200与钨原子的摩尔比为0.05～0.2:1；所述高沸点有机物为丙三醇时，丙三醇和钨原子的摩尔比为0.25～0.33:1。

4.根据权利要求1所述的一种具有喇叭状孔隙结构的氧化钨薄膜的制备方法，其特征在于，步骤3中，热处理的工艺条件为：敞开式加热板加热，加热板设定温度为300～400℃，热处理时间为10～20分钟，采用大气环境。

5.根据权利要求1所述的一种具有喇叭状孔隙结构的氧化钨薄膜的制备方法，其特征在于，步骤3中，最后制备得到的氧化钨薄膜的结构为：疏松多孔的氧化钨薄膜，氧化钨薄膜上孔隙的形状为喇叭状，孔隙的喇叭开口直径为0.3微米～1.2微米，孔隙的喇叭收缩口直径为80纳米～750纳米。

6.根据权利要求5所述的一种具有喇叭状孔隙结构的氧化钨薄膜的制备方法，其特征在于，所述孔隙的深度为150纳米～300纳米。

7.根据权利要求6所述的一种具有喇叭状孔隙结构的氧化钨薄膜的制备方法，其特征在于，所述氧化钨薄膜的薄膜厚度为300纳米～400纳米。