[发明专利]一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201910700292.2 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN110331366B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 田守勤;张勇强;赵修建;杨鑫伟;陆忠成 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
1）以金属钒靶和氧化锌陶瓷靶溅射靶材，氩气为反应气体，在石英玻璃上沉积得到掺有氧化锌的钒膜；具体地，控制背底真空为1×10-3-3×10-3 Pa，溅射的功率为65-85 W，金属钒靶溅射的时间为15-18 min，氧化锌陶瓷靶的溅射时间为2-6 min；沉积的温度为常温，沉积的工作气压为0.1-1.0 Pa；
2）所得掺有氧化锌的钒膜放入退火炉中退火处理得到主要成分为二氧化钒与钒酸锌的复合物；具体地，退火过程分为升温、保温和降温三个阶段；退火时将退火炉抽真空至1000-1500 Pa，退火的温度设定为400-500 ℃，退火的升温速度为5-10 ℃/min，保温时间为30-90 min，保温结束后，炉腔在冷却水的作用下缓慢冷却至常温。
2.如权利要求1所述二氧化钒基复合薄膜的制备方法，其特征在于步骤1所用的金属钒靶纯度为99.99wt%，所用的氧化锌陶瓷靶纯度为99.99wt%。
3.如权利要求1所述二氧化钒基复合薄膜的制备方法，其特征在于步骤1所用的氩气的纯度为99.9wt%。
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