[发明专利]适用于LGA模封产品的烘烤压制器

说明书

本发明公开了适用于LGA模封产品的烘烤压制器，将模封后烘烤使用的弹匣替换成带玻璃的治具，烘烤前将大板与钢化玻璃有序放入治具内，利用气缸的压力将弹簧铁块下压，再将两端的顶丝帽锁紧，放入烘烤炉内烘烤；其中，用于模封的产品，其基板在下，树脂材料在上堆叠的方式进行摆放；本发明所述方案烘烤过程中，大板内的树脂排列不会产生变化，使大板的翘曲不变。

技术领域

本发明涉及适用于LGA模封产品的烘烤压制器。

背景技术

对于LGA产品，客户对大板翘曲要求特别高（哭脸形态3毫米以下且不能有笑脸形态出现），模封后产品的翘曲满足客户要求，但模封后放入弹匣内在175℃的炉子内烘烤七个小时，大板翘曲会变为笑脸形态，不能被客户接受，模封后产品的翘曲不满足客户要求，但模封后放入弹匣内在175℃的炉子内烘烤七个小时，大板翘曲会变化，哭脸形态3毫米，则能被客户接受，模封后的翘曲和烘烤后的翘曲变化是因为树脂在烘烤时，受重力的作用下，内部的分子链排列发生变化导致。

在新产品开发阶段：选用不同收缩率的基板与不同收缩率树脂来生产假片，然后完成模封后放入弹匣内烘烤七个小时，测量翘曲，选取最优的一组翘曲组合，最终确定选用何种基板与树脂，过程耗费时间。

量产时，模封后的产品测量翘曲已无意义，只能对烘烤后的大板监控翘曲，如果模封时工艺参数有异常造成烘烤后翘曲超标，模封后不能及时发现，会造成大量产品翘曲超标异常。

发明内容

针对背景技术所提到的问题，本发明要解决的技术问题是提供适用于LGA模封产品的烘烤压制器，通过对地图的纠错发现地图匹配错误，从而降低不良芯片的发生，提高晶圆封装良品率。

本发明的适用于LGA模封产品的烘烤压制器，包括适用于烘烤使用的治具，所述治具包括治具框、顶丝帽、弹簧铁块、气缸以及钢化玻璃组成；所述气缸安装在治具上方；所述钢化玻璃放置在治具框内；所述弹簧铁块为活动安装，顶丝帽安装在弹簧铁块两侧，并套接在治具框内；所述烘烤压制器包括一种烘烤压制方法，其特征为：

将LGA模封产品放置在钢化玻璃上，排列结构为钢化玻璃-LGA模封后产品-钢化玻璃-LGA模封后产品，按此顺序循环叠放；通过气缸的压力将弹簧铁块下压，再将两端的顶丝帽锁紧，放入烘烤炉内烘烤，设置烘烤温度为175度，烘烤时间为7小时，最终烘烤后的产品翘曲和LGA模封产品的翘曲相同。

其中，所述LGA模封产品为基板和树脂构成的假片。

作为优选，所述治具框为不锈钢材质。

本发明的优点：

1. 优化流程，模封后大板翘曲即为烘烤后大板翘曲，只需确定模封后大板的翘曲即可确定所使用材料；

2.在模封后即可监控大板翘曲，有异常可以及时发现，不会造成批次性异常；

3.烘烤治具，成本低，使用寿命长，每套的使用寿命在五年以上。

附图说明

为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为治具结构图。

图2为翘曲过大假片示意图。

图3为翘曲正常假片示意图。

具体实施方式

如图1所示，适用于LGA模封产品的烘烤压制器，包括适用于烘烤使用的治具，所述治具包括治具框4、顶丝帽6、弹簧铁块5、气缸7以及钢化玻璃3组成；所述气缸7安装在治具上方；所述钢化玻璃3放置在治具框4内；所述弹簧铁块5为活动安装，顶丝帽6安装在弹簧铁块5两侧，并套接在治具框4内；所述烘烤压制器包括一种烘烤压制方法，其特征为：