[发明专利]一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法有效
申请号: | 201910694877.8 | 申请日: | 2019-07-30 |
公开(公告)号: | CN110455725B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 王建江;王毅;高卫;李召永;赵丽霞;吴会旺;陈秉克 | 申请(专利权)人: | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/31 | 分类号: | G01N21/31;G01N21/01 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 李坤 |
地址: | 050200 河北省石*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 碳化硅 品质 评价 方法 | ||
1.一种高纯碳化硅粉料品质的评价方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1,取高纯碳化硅粉料,采用测色装置测量其明度值L*及色度值a*和b*;所述高纯碳化硅粉料的测试粒径为75~4000μm;
步骤2,将所得L*值、a*值和b*值代入以下公式计算品质因数Δ,Δ越大说明碳化硅粉料的品质越好;
其中,L*的取值范围为0~100,a*的取值范围为-128~0,b*的取值范围为0~127。
2.如权利要求1所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法,其特征在于,所述测色装置为测色色差计、分光测色仪或积分球色差计。
3.如权利要求2所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法,其特征在于,所述测色装置为3nh-ys3010型分光测色仪。
4.如权利要求3所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法,其特征在于,所述3nh-ys3010型分光测色仪的测试参数为:观察角度为1-12°,测量口径为1-10mm。
5.如权利要求3所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法,其特征在于,所述测色装置的测色光源为D65、D50、A光源、C光源、D55或D75。
6.如权利要求1所述的高纯碳化硅粉料品质的评价方法,其特征在于,所述高纯碳化硅粉料的测试粒径为180~2500μm。
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