[发明专利]包含电源结构的集成电路在审
申请号: | 201910690002.0 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN110783307A | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 彭士玮;曾健庭;林威呈 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/50 | 分类号: | H01L23/50;H01L27/02 |
代理公司: | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电力轨 第一金属层 导电连接 导电区段 电力垫 埋入 通孔 功能电路 集成电路 第二金属层 电源结构 覆盖基板 拾取单元 垂直 覆盖 | ||
一种包含电源结构的集成电路包含位于覆盖基板的第一金属层之下的两个埋入电力轨、以及在覆盖第一金属层的第二金属层中的两个上部电力轨。两个上部电力轨垂直于两个埋入电力轨。集成电路包含具有功能电路的电力拾取单元。功能电路包含在第一金属层之下的导电区段以及第一金属层中的电力垫。电力垫经由第一通孔导电连接到一个上部电力轨。第一电力垫经由第二通孔导电连接到第一导电区段。第一导电区段经由第三通孔导电连接到一个埋入电力轨。
技术领域
本案是关于一种集成电路,特别是一种包含电源结构的集成电路。
背景技术
微型化集成电路(IC)的近期趋势已经导致元件变小,这些元件消耗更少电力,仍以更高的速度提供更多功能。微型化过程亦导致对集成电路布局设计的更严格限制。在集成电路的布局设计期间,通常放置及路由标准单元以形成功能电路。在一些布局设计中,埋入电力轨用于向标准单元提供电力,并且各种电力结构设计可以用于将电力从对应的电源带到埋入电力轨。
发明内容
在一个实施例中,提供一种具有连接埋入电源轨的拾取单元的电源结构的集成电路。该集成电路,其特征在于,包含基板、覆盖基板的第一金属层、以及均在第一方向上延伸且定位在第一金属层之下的第一埋入电力轨及第二埋入电力轨。集成电路包含覆盖第一金属层的第二金属层、各者在第二金属层中并且在垂直于第一方向的方向上延伸的第一上部电力轨及第二上部电力轨、以及具有功能电路的电力拾取单元。功能电路包含位于第一金属层之下的第一导电区段以及第一金属层中的第一电力垫。第一电力垫经由在第二金属层与第一金属层之间的至少一第一通孔导电连接到第一上部电力轨,并且第一电力垫经由在第一金属层与第一导电区段之间的至少一第二通孔导电连接到第一导电区段。第一导电区段经由在第一导电区段与第一埋入电力轨之间的至少一第三通孔导电连接到第一埋入电力轨。
附图说明
当结合随附附图阅读时,自以下详细描述将很好地理解本揭示的态样。应注意,根据工业中的标准实务,各个特征并非按比例绘制。事实上,出于论述清晰的目的,可任意增加或减小各个特征的尺寸:
图1A是根据一实施例所绘示用于IC电路的局部布局的示意图;
图1B至图1C以及图1Bx至图1Cx是根据一些实施例所绘示电力拾取单元的平面图及对应横截面图;
图2A是根据一实施例所绘示具有另一布置的电力拾取单元的IC电路的局部布局的示意图;
图2B至图2C以及图2Bx至图2Cx是根据一些实施例所绘示邻接电力拾取单元的一些部分的平面图及对应横截面图;
图2D是根据一实施例所绘示邻接电力拾取单元的一些部分的透视图;
图3是根据一实施例包含用额外功能实施的电力拾取单元的局部布局示意图;
图4A至图4D是根据一实施例所绘示具有反相器的逻辑功能的电力拾取单元的示意图;
图5A至图5D是根据一实施例所绘示具有缓冲器的逻辑功能的电力拾取单元的示意图;
图6是根据一实施例所绘示包含用额外功能实施的电力拾取单元的局部布局的示意图;
图7A至图7D是根据一实施例所绘示具有NAND门的逻辑功能的电力拾取单元的示意图;
图8A至图8D是根据一实施例所绘示具有NOR门的逻辑功能的电力拾取单元的示意图;
图9及图10中的各者根据一些实施例图示包含用额外功能实施的电力拾取单元的局部布局的示意图;
图11A至图11D是根据一实施例所绘示具有反相器的逻辑功能的电力拾取单元的示意图;
图12是根据一实施例所绘示具有拉高电路的逻辑功能的电力拾取单元的示意图;
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