[发明专利]一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法

说明书

本发明提供了一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种抽滤成型装置，包括树脂模具；与所述树脂模具的进料口相连通的浆料压注设备；与所述树脂模具的抽滤口相连通的抽滤设备；所述树脂模具的内侧设置有超滤膜。在本发明中，浆料压注设备将ITO浆料压注到树脂模具中，抽滤设备使树脂模具内为负压，在浆料压注设备和抽滤设备的双重加压下，ITO浆料中的水透过超滤膜迅速分离，ITO浆料中的粉体沉积在树脂模具中形成ITO坯体，由于超滤膜的包覆作用，极大的保证了素坯的完整性，提高了素坯的成品率，进而提高了ITO平面靶材的质量。

技术领域

本发明涉及光电材料成型技术领域，具体涉及一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法。

背景技术

平板显示器主要包括液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、有机发光二极管显示器(OLED)以及在LCD基础上发展起来的触控显示产品，ITO导电膜由于具有优异的透明导电性能和良好的加工性能，广泛应用于平板显示器中。目前，通常采用磁控溅射法制备ITO导电膜，ITO平面靶材作为制备ITO导电膜的关键原料之一，其需求量越来越多。

目前，ITO平面靶材成型过程中，多采用的是石膏模具成型工艺或微孔模具抽滤成型工艺，专利CN201210579304.9中，采用的是石膏模具成型，在石膏模具成型工艺中，由于石膏模具在常压下吸水能力较弱，且具有饱和性，导致ITO靶材成型所需时间较长；另外石膏模具使用寿命较短，造成资源浪费和生产成本增高，且模具使用后的干燥时间过长，导致ITO靶材的产量较低。专利CN201410068331.9中，采用的是微孔模具成型，微孔模具抽滤成型工艺在ITO浆料成型的过程中，由于抽滤装置使微孔模具内为负压，在抽离水的同时也使少量的ITO粉体进入微孔模具中，造成微孔模具的孔隙阻塞，从而导致模具抽离水的能力下降，得到的ITO坯体不合格，因而微孔模具不能反复多次使用，使用寿命较短，而少部分ITO粉体在抽滤过程中进入微孔模具，造成生产原料不必要的损失，导致生产成本升高以及成品率低的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法，采用本发明提供的抽滤成型装置制备ITO平面靶材，能够避免原料的浪费，降低生产成本，提高生产效率和模具的使用寿命，有利于企业大规模制备ITO平面靶材。

为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供了一种抽滤成型装置，包括

树脂模具；

与所述树脂模具的进料口相连通的浆料压注设备；

与所述树脂模具的抽滤口相连通的抽滤设备；

所述树脂模具的内侧设置有超滤膜。

优选地，所述超滤膜贴附于所述树脂模具的内侧。

优选地，所述超滤膜的材质为聚偏氟乙烯。

优选地，所述超滤膜的厚度为1～3mm，所述超滤膜的渗孔直径小于10nm。

优选地，所述树脂模具内部具有孔隙，所述孔隙为通孔，所述通孔的直径为0.3～0.5mm。

优选地，还包括底座，所述底座包括上层底座和下层底座，所述树脂模具固定于所述上层底座上，所述浆料压注设备和抽滤设备固定于所述下层底座上。

本发明提供了一种制备ITO平面靶材的方法，包括以下步骤：

(1)提供包含氧化锡和氧化铟的ITO浆料；

(2)将所述ITO浆料加入上述技术方案所述的抽滤成型装置中，进行抽滤成型，得到ITO平面靶材素坯；

(3)在纯氧气氛中，对所述ITO平面靶材素坯进行烧结处理，得到所述ITO平面靶材。