[发明专利]气浮平台及自动光学检查设备

说明书

一种气浮平台，包括相邻排列的多个气浮机构。每一气浮机构包括基座、设于所述基座内的吹气装置，及包括气流生成模块及连接于气流生成模块的多个吹气管。气浮板设于基座上，包括气浮面、设于气浮面周围的侧壁，及连通多个吹气管的多个吹气孔。侧壁与气浮面之间具有角边部，其一端连接气浮面，另一端连接侧壁，且角边部朝气浮面与侧壁之间内凹设置。所述角边部可以减少接受光学检测的基板，因为高低差引发的背刮风险，进而提升检测效果。

【技术领域】

本申请涉及显示面板制造技术领域，特别是涉及一种气浮平台及自动光学检查设备。

【背景技术】

显示面板，例如薄膜晶体管液晶显示器的玻璃基板是经过复杂的工艺流程制造，基板上的线路容易形成断路和短路现象。若可以检测出基板上线路的断路和短路，则可将基板进行维修，进而提高产品的良率。

具体地，光阻材料涂布于基板经过曝光、显影后，会进入自动光学检查机(automated optical inspection,AOI)进行微观缺陷的检查。通常AOI的检查，可配合多种玻璃基板的承载与运输，而现今广为使用的承载与运输是通过气浮平台。使用气浮方式进行运送，可以获得更高精度的检查，并实现了非接触传输，减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力。传统的气浮平台的运输方式是由多个对齐排列的气浮平台组成一个输送平台，用以进行大量面板的输送及检测。现有的气浮平台包括气浮板，亦即，所述输送平台包括多个对齐排列的气浮板。然而，传统的气浮板的边缘都设计为直角结构，由于直角的边缘，相邻气浮板的高度难以调整一致。此外，在光学检测的扫描过程中，玻璃基板与气浮板之间的间距极低，由于气浮板的边缘为直角结构，因此很容易在边缘位置发生微小的形变(banding)，并产生背刮的问题，影响玻璃基板的品质、降低显示面板的显示效果，且会提高破片的风险。

【发明内容】

本申请的目的在于提供一种气浮平台及自动光学检测设备，其可避免玻璃基板在自动光学检测的扫描过程中，因为气浮板结构而造成玻璃基板的边缘形变及背刮发生。

为实现上述目的，本申请提供一种气浮平台，包括相邻排列的多个气浮机构，其特征在于，每一所述气浮机构包括：基座；吹气装置，设于所述基座内，并包括气流生成模块及连接于所述气流生成模块的多个吹气管；以及气浮板，设于所述基座上，包括气浮面、设于所述气浮面周围的侧壁，及连通所述多个吹气管的多个吹气孔，其中所述侧壁与所述气浮面之间具有角边部，其一端连接所述气浮面，另一端连接所述侧壁，且所述角边部朝所述气浮面与所述侧壁之间内凹设置。

依据本申请的一实施例，所述角边部包括弧边。

依据本申请的另一实施例，所述弧边于所述侧壁及所述气浮面之间构成60度的圆弧角。

依据本申请的另一实施例，所述角边部包括斜边，且所述斜边与所述气浮面的水平方向具有小于或等于60度的夹角。

依据本申请的另一实施例，所述气浮板具有矩形构型，所述角边部沿绕所述矩形气浮板的四个侧壁设置。

依据本申请的另一实施例，所述多个吹气孔贯穿所述气浮面，所述气流生成模块用以产生气流，其依序通过所述多个吹气管及所述多个吹气孔朝上吹出，其中所述多个吹气孔吹出的气流用以悬浮所述基板。

依据本申请的另一实施例，所述气浮平台更包括至少一对辊轴，其分别设于所述基座的相对二侧外，其中所述一对辊轴用以承托所述基板至所述气浮板的上方，并于所述基板悬浮后下移至所述气浮板的下方。

依据本申请的另一实施例，所述气浮平台更包括轨道装置，其设于所述基座的相对二侧，其中所述气浮板可移动地连接于所述轨道装置。

依据本申请的另一实施例，所述相邻排列的多个气浮机构的气浮面为相互齐平设置。

本申请另外提供一种自动光学检查设备，包括自动光学检查机及前述实施例的气浮平台。