[发明专利]菱形硅片载片舟的冷却装置

权利要求书

1.一种菱形硅片载片舟的冷却装置，其特征为：

包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；

两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；

风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔，所述风冷孔对准载片舟上的菱形硅片。

2.根据权利要求1所述的菱形硅片载片舟的冷却装置，其特征是：

所述的风冷组件包括至少一个第一风冷管和至少一个第二风冷管，所述第一风冷管为直管状，第一风冷管一端与气源连接，第一风冷管另一端封闭，第一风冷管的侧壁开有若干第一风冷孔，所述第一风冷孔对准载片舟上的菱形硅片下端角处，第一风冷管固定连接在底座上；

所述第二风冷管包括第一管体、第二管体和折弯管体，第一管体、第二管体相互平行，折弯管体连通第一管体和第二管体，处于下侧的第一管体固定在底座上，第一管体的端部与气源连接，处于上侧的第二管体侧壁开有若干第二风冷孔，所述第二风冷孔对准载片舟上的菱形硅片侧端角处。